記事検索結果

沸騰・半導体市場素材各社の戦略(29)住友精化、国内外で能力拡大（2021/12/9 素材・医療・ヘルスケア２）

住友精化は半導体製造工程用の高純度ガスを手がける。... 半導体製造のエッチング工程ではフッ素系ガスのほか、COも使用されている。ガス部門統括ガス事業部長の村越傑取締役常務執行役員...

沸騰・半導体市場素材各社の戦略(28)関電化、中韓で需要キャッチ（2021/12/7 素材・医療・ヘルスケア２）

フッ素系ガスを現地生産関東電化工業は東アジアで半導体などの製造に欠かせないフッ素(F)系ガスの現地生産を進めている。需要が伸びる韓国や中国の顧客...

魁半導体、真空プラズマ装置フッ素樹脂で撥水加工（2020/6/29 電機・電子部品・情報・通信）

魁半導体(京都市下京区、田口貢士社長、075・204・9589)はフッ素系樹脂にプラズマを照射することで加工対象物を撥水(はっすい)コーティングできる真空プラズマ装置「...

九大、酸化に強い被膜法を開発（2016/10/12 科学技術・大学）

成膜はフッ素系ガス環境で行い、フッ素の化学的結合力を生かす。

産総研、フッ素系ガスを極低濃度で検出する検知材開発（2016/9/7 科学技術・大学）

産業技術総合研究所ナノ材料研究部門の中村徹主任研究員らは、半導体製造装置で使われるフッ素系ガスを2ppm(ppmは100万分の1)という極低濃度で検知する材料を開発した。冷媒として使わ...

昭和電工、フッ素系ガス2製品値上げ（2011/7/21）

昭和電工は半導体の製造時に使うフッ素系高純度ガス2製品の価格を8月1日出荷分から1キログラム当たり500円値上げする。対象はクリーニングガスの高純度FC―116、エッチングガスの高純度FC―14。&#...

テクノ学び隊(131)きょうのテーマ−ウエハーの薄厚化（2008/10/2）

水や薬液を使わずに研磨するドライポリッシング、フッ素系ガスのプラズマでエッチングするドライエッチング、アルカリ系薬品と微細な研磨剤を併用するCMP(ケミカルメカニカルポリッシュ)、超微...

NSS九州、プラズマ発生用電源装置を完成（2008/8/14）

フッ素系ガスをプラズマで分解、固形化して排ガスから除去するシステムに用いる。

06年度の国内化学業界の温室ガス量、90年度比15%減に（2008/7/7）

4日に開いた地球温暖化対策の説明会で公表したもので、京都議定書の温室効果ガスの削減目標を大きく上回った格好だ。日化協によると、CO2排出量は90年度比で増加しているが、フッ素系ガスや亜酸化窒...