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半導体材料分野を中心にさまざまな機会を探る」 ―M&Aでは原料を含めリソグラフィーなど得意な領域を深耕するのか、他領域も視野に入るのでしょうか。

日本電波工業、差動出力の水晶発振器 光通信機器向け小型2種 (2024/4/8 電機・電子部品・情報・通信)

搭載するモジュールの小型化に対応するため、写真製版技術(フォトリソグラフィー技術)による加工で縦2・0ミリ×横1・6ミリ×高さ0・7ミリメートルと業界最小クラスを実...

大日本印刷(DNP)は27日、極端紫外線(EUV)リソグラフィーに対応した2ナノメートル(ナノは10億分の1)世代のロジック半導体向けフォトマスク...

トッパンフォト、米IBMと2ナノEUVマスク開発で契約 (2024/2/8 電機・電子部品・情報・通信1)

トッパンフォトマスク(東京都港区、二ノ宮照雄社長)は7日、米IBMと極端紫外線(EUV)リソグラフィーを使用した2ナノメートル(ナノは10億...

半導体再興へ 大学の最先端研究(9)SiCでLSI作製 (2024/2/8 科学技術・大学1)

同大にはリソグラフィーからエッチング、薄膜形成などの各種装置群がそろう。

半導体の微細化・高集積化が進むとリソグラフィーや洗浄、研磨など前工程のサイクルを何度も繰り返すため材料需要の増加が見込める。

ガラス基板にも対応 ウシオ電機は半導体製造装置最大手の米アプライドマテリアルズと共同で、フォトマスク(半導体回路の原版)を必要としないデジタルリソグラフィー技術...

呉工業高専が持つナノメートル(ナノは10億分の1)規模の半導体リソグラフィー技術を利用する。

迫田研究員らは有限要素法による試料設計に基づき、電子線リソグラフィーで厚み0・4マイクロメートル(マイクロは100万分の1)のシリコン薄膜をナノ加工してフォトニック結晶を作製した。&#...

VACUUM2023真空展/紙上プレビュー(3) (2023/10/31 機械・ロボット・航空機1)

半導体回路の転写などで使われるナノインプリントリソグラフィープロセスの量産技術も紹介。

蘭ASML、7―9月の受注減 (2023/10/26 電機・電子部品・情報・通信2)

同社は世界最先端の半導体の製造に必要な半導体リソグラフィー(露光)装置のメーカーで、今年は中国からの事業が大きく伸びた。

ネオンはエキシマレーザー発振用の混合ガスの主成分で、主に半導体リソグラフィー工程で使用される。

大日印、エンコーダーディスク参入 カラーフィルター技術応用 (2023/7/6 電機・電子部品・情報・通信1)

エンコーダーディスクは微細パターンを形成するフォトリソグラフィー技術で製造する。

その製造には、原図の回路パターンをシリコンウエハー上に縮小露光するリソグラフィー技術が利用されている。... 電子回路の微細化に対応するため、リソグラフィーの露光波長の短波長化が進み、現在は波長13・...

ADEKA、千葉工場を増強 EUVフォトレジスト向け材料の生産能力2倍 (2023/5/30 素材・建設・環境・エネルギー2)

フォトレジストの開始剤として使用され、先端ロジック半導体のリソグラフィー工程で使われるEUVフォトレジスト用の製品の生産設備を増設した。

一般的なリソグラフィー露光機では、原図であるマスク上の電子回路パターンを写真の原理を使ってシリコンウエハー上に縮小して焼き付ける。... EUVリソグラフィー技術は、量子科学技術研究開発機構(...

富士フイルム、台湾に新工場 半導体研磨材料を増産 (2023/5/18 素材・建設・環境・エネルギー2)

新工場はCMPスラリーに加え、フォトリソグラフィー周辺材料も生産する。

欧州現地法人の工場に投資し、ポリイミドに加え、回路形成に用いる現像液やクリーナーなどのフォトリソグラフィー周辺材料も増産する。

リバーエレテック、クリーンルーム増設 次世代水晶製品向け (2023/3/28 電機・電子部品・情報・通信1)

半導体製造などで使うフォトリソグラフィーを応用し、水晶の微細加工技術を研究開発・生産するための最適設計を取り入れた。

JSRはまさにそのリソグラフィー材料での貢献が評価され、台湾積体電路製造(TSMC)が最近発表した22年のサプライヤー表彰に選ばれている。

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