- トップ
- 検索結果
記事検索結果
電子版有料会員の方はより詳細な条件で検索機能をお使いいただけます。
ログイン
2件中、1ページ目 1〜2件を表示しています。 (検索にかかった時間：0.001秒)
半導体製造工程の異物検出・除去1台で 堀場が新検査装置 （2024/3/19 機械・ロボット・航空機１）
レティクルやマスクといった回路を描いた原版へのホコリなどの異物付着を検知する従来機に、異物の除去機能を搭載。
堀場製作所、半導体の生産性に貢献 新製品3種 （2021/12/16 機械・ロボット・航空機１）
半導体関連事業で主力の半導体製造装置向けマスフローコントローラー(ガス流量制御機器)で従来品比8倍の超高速応答の新製品を、露光工程向けで高精度なレティクル・マスク異物検査装置の新製品を...
