電子版有料会員の方はより詳細な条件で検索機能をお使いいただけます。

3件中、1ページ目 1〜3件を表示しています。 (検索にかかった時間:0.014秒)

量子計測原理は、反射波の2次情報を利用して画像化する技術。... そのため、反射波に対する擾乱(じょうらん)によって性能が急激に劣化する。 これに対し、量子レーダーカ...

波長193ナノメートルのレーザー波で露光するArFリソグラフィーでの半導体製造が可能。

光源に自社開発の全固体レーザーを採用。... 光源を水銀キセノンランプからレーザーに変更。... レーザー波で露光するArFリソグラフィーで問題となる表面の異物や汚れなどの検査にも対応する。

ご存知ですか?記事のご利用について

カレンダーから探す

閲覧ランキング
  • 今日
  • 今週

ソーシャルメディア

電子版からのお知らせ

日刊工業新聞社トピックス

セミナースケジュール

イベントスケジュール

もっと見る

おすすめの本・雑誌・DVD

ニュースイッチ

企業リリース Powered by PR TIMES

大規模自然災害時の臨時ID発行はこちら

日刊工業新聞社関連サイト・サービス

マイクリップ機能は会員限定サービスです。

有料購読会員は最大300件の記事を保存することができます。

ログイン