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日本電子、面積30%削減の新型走査電子顕微鏡 (2015/12/1 電機・電子部品・情報・通信2)

また観察から元素分析までを画像操作環境(GUI)で実行する設計にして操作性を向上させた。 ... ラインアップは標準機種のほか、低真空観察機能を装備した「同(...

高真空機能や2次電子検出器を搭載することで、高倍率下でも試料最表面の微細構造を鮮明に観察できる。... フォーカスや輝度調整などの自動化機能を搭載した。オプションとしてエネルギー分散型X線分析装置&#...

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