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ADEKA、千葉工場を増強 EUVフォトレジスト向け材料の生産能力2倍 (2023/5/30 素材・建設・環境・エネルギー2)

特定の光や電子線に反応して酸を発生させる「光酸発生剤」を生産する。フォトレジストの開始剤として使用され、先端ロジック半導体のリソグラフィー工程で使われるEUVフォトレジスト用の製品の生産設備を増設した...

光酸発生剤は光が照射されることで酸が発生する化合物。... ただ、その数%の中で光酸発生剤は7―8割を占める重要成分だ。 サンアプロの光酸発生剤は、光の波長と酸の強...

ADEKAは30日、極端紫外線(EUV)露光向け光酸発生剤の生産能力を従来比2倍以上に引き上げると発表した。... 光酸発生剤などを生産する千葉工場(千葉県袖ケ浦市)内...

微細化ではフォトレジスト向け光酸発生剤もキーテクノロジーの一つだ。同社の光酸発生剤は光波長の制御技術が高く、またppb(ppbは10億分の1)レベルの不純物も混入させず、高純度なのが特...

ENEOS、新エポキシモノマー開発 機械物性・低誘電性両立 (2020/10/20 素材・医療・ヘルスケア)

汎用エポキシ材料と混合する反応性希釈剤で、低粘度のため流動性を高める効果もある。... またエポキシ材料「THI―DE」や「DE―102」「同103」について、硬化を促進する光酸発生剤の添加量が少なく...

三洋化成、光酸発生剤開発 硬化物の高い透明性を保持 (2018/5/21 素材・ヘルスケア・環境)

【京都】三洋化成工業は樹脂の光硬化のきっかけに使う光酸発生剤で、硬化物の高い透明性を保持できる新製品「CPI―310FG」を開発した。... 金属配線や基板を腐食させるフッ化水素を副生しない非アンチモ...

「最近はArFレジスト用感光材や光酸発生剤などの高付加価値品の開発依頼が増えている。

カチオン重合開始剤は熱や紫外線を当てると酸を発生して重合反応を始める。サンアプロは07年に開発した光酸発生剤の技術を応用し、材料の一部分子構造を変え、熱により重合反応させる開始剤を開発した。部品の光が...

一方、日本では新材料の開発を強化するほか、今秋にかけて半導体製造に使われる光酸発生剤を増産する。... 一方、千葉工場(千葉県袖ケ浦市)では4月に家電などに使われるポリエステル系添加剤...

デイケム社は半導体やディスプレー分野で使用されるフォトレジスト向けモノマーやポリマー、光酸発生剤などの機能材料を扱っている。

従来の光酸発生剤に比べUVを照射しても酸が発生せず、金属を腐食しないため、不具合を減らせる。光酸発生剤と同等のUV照射量で硬化膜を形成でき、同等の耐熱性も確保した。... ただ、光酸発生剤はUV照射時...

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