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ウシオ電機、露光装置増産 35億円投資、サーバー需要堅調 （2022/5/18 電機・電子部品・情報・通信２）
ウシオ電機はICパッケージ基板向けの分割投影露光装置「UX―5シリーズ」の生産能力を増強する。... 総投資額は35億円を見込み、同社の露光装置分野としては過去最高の投資額となる。
ウシオ電、分割投影露光装置の生産能力3割増強 （2021/5/13 電機・電子部品・情報・通信１）
ウシオ電機は、分割投影露光装置「UX―5シリーズ」の生産能力を増強するため、御殿場事業所(静岡県御殿場市)に15億円の設備投資を行う。
スーパーサイクルに挑む―半導体部材・装置各社(4)ウシオ電機 （2018/5/11 電機・電子部品・情報・通信２）
例えばフォトマスクの電子回路パターンを縮小し、1枚の半導体ウエハーに対して複数回に分けて焼き付ける「縮小分割投影露光装置(ステッパー)」。... 一方で、ウシオ電機の一括投影露光装置は...
ウシオ電、6インチウエハーの一括投影が可能な露光装置を発売 （2010/7/27）
ウシオ電機は26日、発光ダイオード(LED)チップ製造用で、直径6インチウエハーを一括投影できる露光装置「UX4―LEDs=写真」を発売したと発表した。... 従来の分割投影露...
