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ジャパンクリエイト、エッチング装置強化 AMTIから事業買収（2020/12/17 電機・電子部品・情報・通信１）

AMTIはプラズマ制御によるCVD(化学気相成長)装置などに強みがあり、ジャパンクリエイトでは自社の半導体ウエハーエッチング装置の強化につなげる。 ... ジャパンク...

日本を支える有望企業(42)日本電子工業多様な金属表面処理を駆使（2019/9/16 中小・ベンチャー・中小政策）

主力製品のプラズマCVD(化学気相成長)装置で培った技術を横展開し、2001年に実用化した。... そこで取り入れたのがPVD(物理気相成長)方式の装置。... この1...

姫路信金、ケニックスなど3社の研究助成（2019/8/1 中小企業・地域経済１）

【姫路】姫路信用金庫(兵庫県姫路市、三宅知行理事長、079・288・1121)は、2019年度の「ひめしん研究開発支援助成金」の助成企業に、グラフェン成長用減圧熱CVD(化学気...

イノベーティブ製品開発(45)アルバック東北医療機器の点検装置（2018/9/6 モノづくり）

機能簡素化、使いやすくアルバック東北(青森県八戸市、池田和夫社長、0178・28・7693)は、アルバックグループの生産拠点として、ディスプレー...

九州工大、パワー半導体施設公開研究・試験を一貫体制（2017/10/26 大学・産学連携）

17年9月には、政府の16年度補正予算(教育研究基盤装置・設備)約7000万円を活用し、パワー半導体の試作装置としてプラズマCVD(化学気相成長)装置3台と原料ガス供給...

「第20回オゾン層保護・地球温暖化防止大賞」に4件（2017/9/4 素材・ヘルスケア・環境）

【経済産業大臣賞】「PFC等の新型大気圧プラズマ除害装置」カンケンテクノ電子デバイス製造の化学気相成長装置(CVD装置)は、...

九大、酸化に強い被膜法を開発（2016/10/12 科学技術・大学）

一般的なプラズマCVD(化学気相成長)装置で加工が可能。... 成膜はフッ素系ガス環境で行い、フッ素の化学的結合力を生かす。

SCREENFT、LIA真空技術応用し高機能成膜技術を確立（2016/3/8 機械・ロボット・航空機１）

15年からサンプル出荷している真空スパッタリング装置と真空CVD(化学気相成長)装置を本格投入する。... SCREENFTは液晶パネル用のガラス表面に感光材料を成膜する薄型ディスプレ...

ノーベル賞に「青色LED」−赤崎氏・天野氏・中村氏（2014/10/8）

赤崎教授は長年にわたって窒化物半導体の研究を行い、結晶成長の基本技術を確立した。... 「ツーフロー型有機金属化学気相成長装置(MOCVD)」と呼ばれる新しい結晶育成法を開発し、不良な...

真空展2012・紙上プレビュー/神港精機ほか（2012/10/12）

スパッタリング装置や真空成膜装置も手がける。 ... 直結型油回転真空ポンプ、ドライ真空ポンプ、熱化学気相成長装置、高真空排気ユニット、真空計、周辺装置のほか、電...

【横浜】ニューフレアテクノロジーは28日、直径200ミリメートルのウエハー上に150マイクロメートル(マイクロは100万分の1)以上の厚みで結晶を成長できるエピタキシャル成長装置「HT...

ひまわりベンチャー基金、上期の助成先5社に各300万円を交付（2008/7/25）

将来性などの観点で評価し、大面積ダイヤモンド気相合成用の熱フィラメントCVD(化学気相成長)装置の開発を目指すMPS(千葉市花見川区)、中小企業向けフィールドサービス支...