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微細化で低コストと省エネ両立 半導体は物質の特性を示す材料名であると同時に、人々のさまざまなアイデアを電子回路にして大量生産を可能にした「知能化エンジン」でもある。信号のON...

JSR、ヤマナカヒューテック買収 半導体薬品を拡充 (2024/5/20 素材・建設・環境・エネルギー)

JSRは半導体用高純度化学薬品を製造・販売するヤマナカヒューテック(京都市左京区、森脇健社長)の全株式を取得し、完全子会社化することで合意した。... CVDやALDプリカーサーを最先...

微細化の進展に伴って製造装置が高額化し、半導体メーカーの投資負担が増した結果、設計と製造の分業が進展。... だが、既存顧客が相手のニコンやキヤノンは地殻変動への対応が後手に回り、微細化で先行するファ...

フルヤ金属が新工場 半導体装置向け温度センサー石英、生産能力2倍 (2024/5/15 素材・建設・環境・エネルギー2)

温度センサーは半導体の酸化工程における拡散炉の精密な温度制御に使用。... 半導体の需要拡大に対応し、半導体の国内製造におけるサプライチェーン(供給網)強化に貢献したい考えだ。 ...

三菱ガス化、半導体洗浄剤を増産 米2工場増強 (2024/4/16 素材・建設・環境・エネルギー2)

米国では半導体メーカーの設備投資が活発化しており、生産体制を拡充することで旺盛な半導体関連需要に対応する。 ... 半導体の微細化に伴い、より高品質な薬液の需要が増えている。半導体市...

半導体の微細化に伴い、半導体製造装置もより高純度化が求められている。... 半導体の微細化が進むほど、このことが製造に影響する可能性が高まってきた。 ... 今後も微細化が進む半導体...

第66回十大新製品賞/本賞 レーザーテック (2024/2/9 機械・ロボット・航空機)

EUV露光は回路線幅7ナノメートル(ナノは10億分の1)以下の微細プロセスに対応する最先端の半導体加工技術。... 光学系が簡素になり、装置の小型化も可能だ。 ......

欧米に加え、アジア圏の顧客獲得にも力を入れたい」 ―米社から半導体用プロセスケミカル(製造時の精密洗浄などに使う化学薬品)事業を買収しました。 .....

2023年 第66回十大新製品賞 (2024/1/4 十大新製品賞)

EUV露光は回路線幅7ナノメートル(ナノは10億分の1)以下の微細プロセスに対応する。... 従来機種に比べ検出性能を高め、次世代半導体の微細化プロセスと高NA(開口数)...

一方、半導体の微細化の流れを踏まえ、他の半導体製造装置製品でも市場開拓に力を注いでいる。... 半導体の微細化が進むと配線工程も増えていき、同工程へのチップコストが無視できないレベルで上がる。... ...

レーザーテック/独自のEUV光源で欠陥検査 (2023/12/25 新製品フラッシュ2)

従来機に比べ検出性能を高め、次世代半導体の微細化プロセスと高開口数(NA)EUV露光に対応する。

日本航空電子、サーボ加速度計を小型化 半導体装置など向け (2023/12/25 電機・電子部品・情報・通信)

小型化の需要を踏まえて開発した。製品の大きさは公開していないが、設計などの工夫を通じて製品の高さを抑え、小型化を実現した。... 半導体製造装置メーカーは微小な振動を検出して対策を講じることで半導体の...

三井化学は2025―30年に、半導体の製造工程で使われる次世代の極端紫外線(EUV)ペリクルを実用化する方針だ。... 半導体の微細化に伴いEUV露光機の高度化が進...

ダミーウエハー大量保管 村田機械、ストッカー本格投入 (2023/12/13 機械・ロボット・航空機1)

半導体の微細化によって製造工程がより複雑化し、品質管理のために各工程で同ウエハーの保管数が増加傾向にある。メンテナンスしやすく大量保管できる同装置を半導体・ウエハーメーカーや半導体関連装置メーカーの研...

半導体製造で仕上げにあたる「後工程」に特化した展示スペース「APCS」も前回に引き続き設置する。異なる半導体を重ねて配置する3次元積層やチップレットが、微細化によらずに半導体の性能向上を実現できる技術...

半導体の微細化が進む中、回路を形成するエッチング装置や回路の線幅などを測定する計測装置の重要性が増している。... そこまでシェアが高くないエッチング装置は足元でメモリー半導体などの投資抑制の影響を受...

レーザーテック、高輝度EUVで欠陥検出 マスク検査装置を受注 (2023/12/12 電機・電子部品・情報・通信1)

従来機種に比べ検出性能を高め、次世代半導体の微細化プロセスと高開口数(NA)EUV露光に対応する。... EUV露光は回路線幅7ナノメートル(ナノは10億分の1)以下の...

住友化学、半導体材料強化 化合物開発で川上狙う (2023/12/12 素材・建設・環境・エネルギー2)

開発新組織立ち上げ 住友化学は半導体関連の研究開発体制を拡充する。... 同社は半導体や電子材料を成長領域と捉えている。... 半導体の微細化など性能の向上に寄与する素材開発のほか、...

半導体製造装置などに使われるレーザースケールは半導体の微細化ニーズなどを背景に需要が高まっており、増産に踏み切り対応する。 ... 生産拠点の複線化で事業継続計画(BCP&#...

FinFETは3ナノメートルプロセスで微細化の限界を迎えると見て、IBMは2021年、ナノシート技術による2ナノメートルのチップを世界で初めて開発。... 半導体に用いるシリコンはナノシート化すると、...

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