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半導体微細加工技術でシリコン薄膜に青海波構造を作り、熱が流れる方向を測定した。

100ナノメートルの微細加工 ナイトライド・セミコンダクター(徳島県鳴門市、村本宜彦社長)は、波長385ナノメートル(ナノは10億分の1)の紫外線発光...

藤田特任教授の研究テーマは「微小電気機械システム(MEMS)の先駆的研究とナノ材料評価・バイオ技術への応用」。... 藤田特任教授は受賞者スピーチで「私の研究は半導体微細加工技術をアク...

当然、技術移転や共同研究には興味がない。... 半導体微細加工技術によって金属細線の間隔を狭くすると、その分小さい水滴も検知できることを発見し、14年頃に基本特許を出願した。 ......

三井化、蘭ASMLと契約 岩国大竹工場に新設備 (2019/6/3 素材・医療・ヘルスケア)

三井化学は最先端の半導体微細加工技術である極端紫外(EUV)露光工程向け部材のライセンス契約を蘭ASMLとの間で結んだ。ASMLの技術をもとに、三井化学はEUV露光フォトマスクの防塵カ...

大阪府立産業技術総合研究所の櫻井芳昭研究員と、矢野クローム工業所(大阪市大正区、小佐々明夫代表社員、06・6552・5081)は、軽量で割れにくい透明樹脂であるポリカーボネートに、密着...

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