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ギガフォトン、半導体装置解析ソフト提供（2018/3/2 機械・航空機２）

半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、0285・28・8410)はオープンプラットホームの半導体製造装置解析ソフトウエア「FABSCAPE」の提供を始めた。FA...

ギガフォトン、「GT65A」1号機出荷（2018/2/26 機械・ロボット・航空機１）

半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、0285・28・8410)は最先端の液浸露光(リソグラフィー)装置向けArF(波長193ナノメート...

ギガフォトン、EUV用LPP光源集光ミラー反射率改善（2017/9/25 機械・ロボット・航空機２）

半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、浦中克己社長、0285・28・8410)は、開発中の極端紫外線(EUV)スキャナー用レーザー生成プラズマ&...

ギガフォトン、スペクトル幅制御技術を開発（2017/9/14 機械・ロボット・航空機１）

半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、浦中克己社長、0285・28・8410)は、スペクトル幅制御技術「hMPL」を開発した。... 微細化によってプロセスウイ...

ギガフォトン、新本社社屋完成（2017/7/13 機械・ロボット・航空機２）

同社は半導体露光用エキシマレーザーの大手で、業務規模拡大に伴い新社屋を建設していた。

ギガフォトン、中国サポート拠点 10カ所以上に拡大（2017/7/10 機械・ロボット・航空機１）

同社は半導体露光用エキシマレーザーの大手で、現在、同国内に8カ所のサポート拠点を展開。... 中国では国内外の半導体メーカーによる設備投資が増え、世界最大規模の市場になりつつある。

ギガフォトン、年1万キロリットルのヘリウム削減（2016/10/5 機械・航空機２）

同社は半導体露光用エキシマレーザー大手。... 供給力が懸念されるヘリウムは磁気共鳴画像装置(MRI)などにも必要なため、同技術は半導体業界以外にも貢献する。

ギガフォトン、新ロードマップ発表（2016/7/11 機械・ロボット・航空機２）

半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、0285・28・8410)はグリーンイノベーションの同社プログラム「エコフォトン」の新ロードマップを発表した。

ギガフォトン、LPP光源で出力250ワット達成（2016/7/7 機械・ロボット・航空機１）

半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、都丸仁社長、0285・28・8410)は開発中の極端紫外(EUV)スキャナー用レーザー生成プラズマ(...

ギガフォトン、新ブランド展開（2016/4/22 機械・航空機２）

ギガフォトン(栃木県小山市、0285・28・8410)は半導体露光用エキシマレーザーの新ブランド「GIGANEX(ギガネックス)」を2016年度に展開すると発表した。F...

ギガフォトン、半導体製造用ネオンガス−リサイクルシステムを開発（2016/2/26 機械・航空機２）

ギガフォトン(栃木県小山市、都丸仁社長、0285・28・8410)は、半導体露光用エキシマレーザー向けのネオンガスリサイクルシステム「hTGM」を開発し、フィールド評価を開始した。&#...

半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、都丸仁社長、0285・28・8410)は、開発中の極端紫外(EUV)スキャナー用レーザー生成プラズマ...

ギガフォトン、ArFエキシマレーザーの最新モデルを月内出荷（2015/2/23）

半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、都丸仁社長、0285・28・8410)は、ArF(フッ化アルゴン)エキシマレーザーの最新モデル「GT64A...

ギガフォトン、ガス消費量削減技術を無償提供（2014/11/27）

半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市)は、同社のArF液浸レーザー「GTシリーズ」向けのガス消費量削減技術「eTGM」を期限付きで無償提供する。 ...