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基盤モデルと研究自動化(4)実験にロボ技術（2024/4/1 科学技術・大学）

東京大学の長藤圭介准教授は粉体の塗布成膜工程をロボット実験で最適化した。卓上小型ロボで懸濁液を塗布し、加熱乾燥の条件をベイズ最適化で絞り込む。... クラックを抑える成膜条件が見つかった。 &...

粉体機器、提案強化取引先拡大・収益底上げ（2020/8/20 機械・ロボット・航空機２）

樹脂への添加・充填、基板への塗布・成膜などで使う粉体材料を製造する粉体関連機器のメーカーが、実験や受託加工、サービス強化にシフトしている。

有機トランジスタ向け半導体、2000倍速で塗布成膜東工大が成功（2020/7/28 科学技術・大学）

東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所の飯野裕明准教授、半那純一名誉教授らは、従来比2000倍以上の成膜スピードで有機トランジスタ向けの半導体を塗布成膜することに成功した。... 有機半導体...

今後、価格が1000万―3000万円程度の塗布成膜装置を新たに商品化し、年間3億円の売上高を目指す。 ... 装置内には塗布空間とは別にシャッターで区切られた塗布...

石井表記など、IJ製法使った全固体二次電池の開発中止（2016/9/15 電機・電子部品・情報・通信１）

電解液の液漏れや異常加熱を回避できる全固体化電池を、非接触で塗布成膜できるIJ製法を使って製品化することを目指していた。

東朋テクノ、薄型パネル向け参入（2013/3/26）

同装置は基板上に塗布・成膜された膜の厚さを測る機器で、直径3―8インチ(75ミリ―200ミリメートル)のウエハーの検査に対応している。

塗布成膜は真空成膜装置を使う従来法に比べ、設備投資コストが低く抑えられるという利点もあり、初期投資と製造コストが抑えられる。... 塗布成膜はスパッタリング法で必要な焼結工程などが不要なため、「材料の...

三菱化学とパイオニアは10日、発光材料を液状にして塗布成膜した有機エレクトロ・ルミネッセンス(EL)素子で世界最高水準の発光効率と寿命を達成したと発表した。... 素子設計と塗布成膜プ...

セリート、22ナノLSI用多層配線の絶縁膜材料を量産（2008/9/24）

特性を維持しつつ成膜工程を3分の2に短縮、低コスト化に道を開いた。... 絶縁膜材料は誘電率2・1の多孔質シリコン酸化膜。塗布成膜から焼成、シリルガスによる疎水化処理までの従来工程を改善し、焼成工程と...