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サムコ、工程モジュール3室搭載 電子デバイス製造クラスターツール (2021/12/14 電機・電子部品・情報・通信1)

【京都】サムコは13日、窒化ガリウム(GaN)や炭化ケイ素(SiC)パワーデバイス向けなど、非シリコン材料を用いた電子デバイスのエッチング...

その一つが柔軟な車体生産を実現する「フレキシブルモジュールライン(FML)」だ。... 「工程モジュール」はこうした生産体制を生かし、将来的に想定以上の車両構造などの進化があった場合に...

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