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明電舎、オゾン水を超高濃度生成 半導体洗浄のコスト軽減 （2023/6/29 電機・電子部品・情報・通信２）
新製品は、明電ナノプロセス・イノベーション(東京都品川区)の「ピュアオゾンジェネレータ」から供給される濃度が100%に極めて近いピュアオゾンガスを原料とし、加圧や特別な薬液を要...
VACUUM2022真空展/紙上プレビュー(6) （2022/10/18 機械・ロボット・航空機２）
【明電ナノプロセス・イノベーション/基板にダメージ与えず】 明電ナノプロセス・イノベーション(東京都品川区)は、独自の高濃度・高純度オゾン発生技術を用いたバ...
明電NPI、常温で成膜 半導体装置 （2022/3/4 電機・電子部品・情報・通信）
明電ナノプロセス・イノベーション(NPI、東京都品川区、高田壽士社長)は、高純度100%オゾン(ピュアオゾン)を酸化源とする成膜装置「バッチ...
