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【福岡】昭和電気研究所(福岡市西区、河井伴文社長、092・881・0238)は半導体ウエハー用のクラック・エッジ検査装置を開発した。... 開発は福岡県工業技術センター機械電子研究所&...

昭和電気研、半導体ウエハー用エッジ検査装置を開発 (2015/12/10 電機・電子部品・情報・通信2)

【福岡】昭和電気研究所(福岡市西区、河井伴文社長、092・881・0238)は半導体ウエハー用のエッジ検査装置を開発し受注を始めた。

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