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東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー/速度2倍、半導体検査装置 （2024/1/22 新製品フラッシュ２）
東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジーは、半導体製造工程の顕微鏡で行う高倍率検査において、同社従来品比約2倍の検査速度を実現した半導体ウエハー外観検査装置「インスペクトラS...
東レエンジMI、光学ヘッド新開発 ウエハー外観検査装置 （2023/12/6 機械・ロボット・航空機１）
高倍率で速度2倍 東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー(横浜市港北区、佐藤謙二社長)は5日、半導体製造工程の顕微鏡で行う高倍率検査におい...
東レエンジMI、チップ外観検査機投入 車載用パワー半導体向け （2022/12/14 機械・ロボット・航空機１）
東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー(東レエンジMI、横浜市港北区、佐藤謙二社長)は13日、車載用パワー半導体チップの外観検査装置を2023年1...
