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にっぽん再構築 半導体、世界動かす(5)プロセス材料 （2021/8/30 総合１）
微細化、EUV向け先行 【レジスト活況】 世界各地で進む半導体増産計画を前に、化学各社は半導体製造プロセス材料の増産投資を活発化している。調査会社の富士経済(...
EUV半導体材料の需要拡大 素材各社、回路微細化で商機 （2021/6/7 素材・医療・ヘルスケア）
AGC、フォトマスク母材拡販/三井化、保護膜“正規品”生産 極端紫外線(EUV)露光プロセス向け半導体材料・部材の需要が拡大してきた。... 三井化学はEU...
三井化学、防塵カバーを商業生産 EUV露光プロセス向け （2021/6/1 素材・医療・ヘルスケア）
三井化学は、極端紫外線(EUV)露光プロセスで使われるフォトマスクの防塵カバー「EUVペリクル=写真」の商業生産を開始した。同製品の技術を持つEUV露光装置メーカーの蘭ASML...
