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【高輝度EUVプラズマ光源「URASHIMA」】 経済産業省から半導体マスク欠陥検査装置で「グローバルニッチトップ(GNT)企業100選」(2020年度版&#...
レーザーテックは、自社開発の高輝度極端紫外線(EUV)プラズマ光源を標準搭載したEUV露光用マスクパターン欠陥検査装置「ACTIS A300」の受注を始めた...
【横浜】レーザーテックは自社開発の高輝度極端紫外線(EUV)プラズマ光源を標準搭載したEUV露光用マスクパターン欠陥検査装置「ACTIS A300=...
第1期工事として技能訓練に使われていた建屋に約20億円を投じ、主力の半導体マスク欠陥検査装置などを試験するクリーンルームに再整備した。
同社は半導体フォトマスク欠陥検査装置の大手メーカーだが、特に最先端分野であるEUV(極端紫外線:Extreme Ultraviolet)用フォトマスク向けでは独占的なポ...
検査対象に超音波(高強度のパルスレーザー)を微小な点で照射し、溶接内部の空洞欠陥などのデータをレーザー干渉計で受信する。独自の欠陥検出アルゴリズムでデータを可視化、モニターで容易に欠陥...
錠剤を3次元(3D)で捉える検査機能と、全周を確認する側面検査機能を印刷装置に搭載できる。... 錠剤印刷装置「TIE―9000P(写真)/4500P」は3D...
「フォトマスク保護膜『ペリクル』ありEUV用フォトマスクの欠陥検査装置の開発と実用化が進み、売り上げが大きく伸びた。
レーザーテックは、フラット・パネル・ディスプレー(FPD)フォトマスク欠陥検査装置の新機種を発売した。... 製造工程の欠陥検査、出荷前の品質検査に用いるハイエンド...
ポジ・ネガ両方に対応できるほか、欠陥を迅速に解析、修正する品質保証体制を強みに競争力を高めていく。2020年にはEUVレジストの量産化に向けて品質保証体制を強化しようと、富士フイルムエレクトロニクスマ...
近年力を入れているのが検査システム。前工程の最終段階で、回路を焼きつけたウエハーの外観検査や欠陥検査などに使われることが多い。... 検査の自動化ニーズも増えている」(同)という。&#...
UVカメラの既存市場である半導体パターン欠陥検査などへの活用を見込む。 ... UVカメラは、可視光では困難な素材の選別、物体表面上の微細な傷や欠陥などを確認できる。
【広島】シグマ(広島県呉市、浜先克範社長)は、車のエンジン部品の穴の欠陥検査に加え、内径、真円度を同時測定できるレーザー検査測定装置「アナライザーⅤΦ6=写...
傷やホコリを付きにくくし、フォトマスクの検査・交換頻度を抑制する。... 例えば、レーザーテックは、光源にEUVを使ったEUV露光用フォトマスクの欠陥検査装置で100%のシェアを持つ。ペリクル...
【さいたま】パシフィックシステムは金属や樹脂、繊維などの表面を360度検査する「円筒形外観検査装置」の卓上型を7月1日に発売する。... オプションで、割れや欠けといった欠陥を分類するシステムも提供す...
JUKIは自動車部品の目視検査を自動化する「ハイブリッド外観検査装置=写真」の個別受注を始めた。... 複雑な形状の部品検査を自動化できる。... 特にアルミニウム鋳造品の傷などの欠陥検査に向...
最も重要な露光装置は蘭ASMLが市場を独占するものの、検査や感光剤(レジスト)の塗布・現像など周辺装置分野では日本勢が高いシェアを持つ。 ... レーザーテックは、光...
特に需要が高まっているのが、光源にEUVを使ったEUV露光用フォトマスク(半導体回路の原版)の欠陥検査装置で、同社が100%のシェアを持つ。従来EUV露光用マスクの検査では、主...
