【高輝度EUVプラズマ光源「URASHIMA」】 経済産業省から半導体マスク欠陥検査装置で「グローバルニッチトップ(GNT)企業100選」(2020年度版&#...

レーザーテックは、自社開発の高輝度極端紫外線(EUV)プラズマ光源を標準搭載したEUV露光用マスクパターン欠陥検査装置「ACTIS A300」の受注を始めた...

【横浜】レーザーテックは自社開発の高輝度極端紫外線(EUV)プラズマ光源を標準搭載したEUV露光用マスクパターン欠陥検査装置「ACTIS A300=...

第1期工事として技能訓練に使われていた建屋に約20億円を投じ、主力の半導体マスク欠陥検査装置などを試験するクリーンルームに再整備した。

同事業所(同日立市)では最先端の欠陥検査装置を導入した。

同社は半導体フォトマスク欠陥検査装置の大手メーカーだが、特に最先端分野であるEUV(極端紫外線:Extreme Ultraviolet)用フォトマスク向けでは独占的なポ...

「フォトマスク保護膜『ペリクル』ありEUV用フォトマスクの欠陥検査装置の開発と実用化が進み、売り上げが大きく伸びた。... 製造装置では、同じ電力で多く作れるような省エネルギー製品の開発にも取り組み、...

全面改装により、主力の半導体マスク欠陥検査装置などを試験できるクリーンルームも備える。

レーザーテックは、フラット・パネル・ディスプレー(FPD)フォトマスク欠陥検査装置の新機種を発売した。... 製造工程の欠陥検査、出荷前の品質検査に用いるハイエンド...

ポジ・ネガ両方に対応できるほか、欠陥を迅速に解析、修正する品質保証体制を強みに競争力を高めていく。2020年にはEUVレジストの量産化に向けて品質保証体制を強化しようと、富士フイルムエレクトロニクスマ...

EUV露光の拡大は検査装置など周辺装置メーカーにとってもプラスで関連市場全体の成長につながりそうだ。... 例えば、レーザーテックは、光源にEUVを使ったEUV露光用フォトマスクの欠陥検査装置で100...

【さいたま】パシフィックシステムは金属や樹脂、繊維などの表面を360度検査する「円筒形外観検査装置」の卓上型を7月1日に発売する。... オプションで、割れや欠けといった欠陥を分類するシステムも提供す...

最も重要な露光装置は蘭ASMLが市場を独占するものの、検査や感光剤(レジスト)の塗布・現像など周辺装置分野では日本勢が高いシェアを持つ。 ... レーザーテックは、光...

特に需要が高まっているのが、光源にEUVを使ったEUV露光用フォトマスク(半導体回路の原版)の欠陥検査装置で、同社が100%のシェアを持つ。従来EUV露光用マスクの検査では、主...

生産拠点に、高精度の欠陥検査装置など品質評価設備を導入した。... 最先端の検査設備を導入することで、製品の品質向上や安定供給を目指す。... FFEMはEUVレジストの開発や生産に向け、今回の検査装...

列真(東京都品川区、張東勝社長、03・6451・4379)は、全自動のレーザー欠陥検査装置を開発した。従来の同社の卓上式レーザー欠陥検査装置にロボットアームを追加した。半導体用フォトマ...

今年度版「GNT100選」に レーザーテックは主力製品の半導体マスク欠陥検査装置で、経済産業省が特定分野で高いシェアや国際競争力を持つ企業を認定する2020年度版...

今回の歯列矯正用器具は歯の裏面に装置する舌側矯正で、矯正中であることが気づかれにくく、審美性に優れ、装置した時、舌感や違和感がなく患者の負担を軽減します。... 当社の「表面欠陥検査装置 SS...

レーザーテックは最先端の半導体加工技術である極端紫外線(EUV)露光用マスクパターンの欠陥を高感度に検出するEUV欠陥検査装置ACTIS「A150」を製品化した。 ....

【レーザーテック/アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置 ACTIS「A150」】 最先端の半導体加工技術である極端紫外線(EUV)露光用マ...