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三菱ケミと日本製鋼所、4インチGaN結晶の成長確認 (2021/11/24 素材・医療・ヘルスケア)

三菱ケミカルと日本製鋼所は、4インチサイズの窒化ガリウム(GaN)結晶(写真)の成長を確認した。... 液相成長法を基に圧力などを工夫した独自製造プ...

製品群の拡大では、長年研究開発してきた液相成長法による大口径の窒化ガリウム単結晶基板が量産へ動きだした。... 統合会社は中国地場メーカーを除き電解液でトップ。「電解液の需要は伸びる。

同設備で採用した「液相成長法」は、従来の気相成長に比べ欠陥密度を100分の1から1000分の1に抑えられる。... 【単結晶を再析出】 液相成長法は、高温高圧下で超臨界状態にした液体...

液相成長法を基に圧力などを工夫した新製造プロセス「SCAAT―LP」を開発し導入した。

三菱ケミカルは独自の液相成長法により、4インチサイズで、超低欠陥密度のGaN単結晶基板の生成に成功した。

日本ガイシ、大口径GaNウエハー2種をサンプル出荷 (2019/12/4 電機・電子部品・情報・通信1)

同社は独自の液相成長法を採用し、高品質で大口径のGaNウエハー開発で世界をリード。

同社は低コスト化を目指し、この比率を数十%に高める液相成長法を開発中だ。 ... 大陽日酸はLEDを生産する有機金属化学気相成長(MOCVD)装置の主要メーカー。

製造方法が難しいGaN結晶だが、液相成長法という独自技術を編み出し、量産プロセスの早期確立を目指す。

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