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エア・ウォーター、長野で新工場稼働 半導体装置向け熱制御機器生産 （2023/3/9 建設・生活・環境・エネルギー１）
エア・ウォーターは半導体製造装置に組み込む熱制御機器の新工場を長野県安曇野市に建設し稼働した。
エア・ウォーター、エレ向け増産に500億円投資 半導体ガス供給装置など （2022/1/14 総合１）
国内半導体メーカー向けガス供給設備を増産するほか、ガス精製装置、熱制御機器の生産能力も5―6割増強。... エア・ウォーターのエレクトロニクス向け産業ガス関連事業は、酸素や窒素、アルゴンなどの産業ガス...
エア・ウォーター、熱制御機器5割増産 半導体装置向け （2021/8/31 総合３）
エア・ウォーターは30日、半導体製造装置向け熱制御機器の生産能力を現状比5割増やすと発表した。... 半導体用ウエハーを均一に加熱する熱板(ホットプレート)や冷却用のプレートなどの熱制...
