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光学技研、広帯域の位相子開発 半導体検査装置向け （2021/3/8 東日本）
微細化の進展で半導体の製造装置や検査機では、従来の位相子より短い真空紫外線(UV)の波長を使って露光や検査をする必要が出てきている。... 従来のフレネルロムは大きさや、近UVまでの波...
岩崎電気など、安価で操作簡単な活性酸素検出モニター開発 （2011/5/11）
開発したモニターは、水晶振動子上にターゲット材料を真空中でたたき出すことで形成した有機系薄膜が活性酸素と反応し、薄膜が分解・除去する際の質量減少量に着目。... 一般的には活性酸素の生成量を計測するに...
