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作製ではサファイア基板上に、スパッタ法で窒化アルミニウム(AlN)の膜を平らに作製。その後、有機金属成長法(MOVPE)を用いてAlNを再成長させ、その上に窒化物系半導...

深紫外波長帯(200ナノ―300ナノメートル)で発光する半導体発光ダイオード(LED)は、最も発光波長の短いLEDであり、ウイルスの殺菌や、飲料水・空気の浄化、光加工、...

だが、主流である窒化物系半導体を使った深紫外LEDは光の取り出し効率が低く、高出力化に限界があった。 今回、光の取り出し面となる窒化アルミニウム基板の表面に、2次元のフォトニック結晶...

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