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東京大学の長藤圭介准教授らは約15万円の中国製ロボットアーム2台で粉体成膜の実験を自動化した。粉体分散液を垂らして焼いて出来を撮影する。... 粉体成膜では40回の探索で適した条件を見つけたが、研究と...

東京大学の長藤圭介准教授と永井鴻平大学院生、冨沢森生大学院生らは、粉体成膜のプロセス最適化に人工知能(AI)技術を適用し、新しい成膜コンセプトを見いだした。... ...

粉体に成膜加工できる装置などを卓上型原子層堆積(ALD)装置「SAL1000シリーズ」として、2016年12月に発売した。 ... 同社が特に力を入れる粉体成膜ができ...

菅製作所、卓上型原子層堆積装置を投入−粉体に成膜加工 (2016/12/5 機械・ロボット・航空機1)

同シリーズは、卓上型の「SAL1000」と、粉体成膜の「SAL1000B」、酸化しやすい試料向け「SAL1000G」の展開。要望の多かった粉体に成膜ができる新型もラインアップに加えた。 ...

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