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三菱造船、燃料供給装置の基本設計完了（2024/2/29 機械・ロボット・航空機２）

三菱造船(横浜市西区、北村徹社長)は、スイスのウインターツールガスアンドディーゼル(WinGD)が開発中のアンモニア燃料の船舶用エンジン向けに燃料供給装置の基本設計を完...

さあ出番/カンケンテクノ社長・今村浩一氏生産能力急増、急ピッチ（2023/6/1 機械・ロボット・航空機１）

脱臭・除害装置などを手がけ、成長市場の半導体業界向けや脱炭素化の加速で需要が急増。... 装置の保守や営業が長く海外経験も豊富。

ホクエツ、「元素分析室」新設外部サービス参入検討（2023/3/28 東日本）

同社は半導体ガス除害装置、ガス供給装置の設計・製作・販売や微酸性電解水装置を手がける。

展望2022/ローム社長・松本功氏投資計画の7割、増産対応（2022/1/20 電機・電子部品・情報・通信１）

ただ製造装置の納期が過去にないくらいに延びているのが懸念材料だ」 ―SiCパワー半導体の成長戦略は。 ... 「ウエハー工程で使うPFC(パーフル...

大陽日酸、排ガス除害装置開発炭素繊維製造プロセス向け（2019/8/12 素材・医療・ヘルスケア）

大陽日酸は炭素繊維製造プロセス向けに、排ガス除害装置「Innova―FLASH」を開発した。... 開発した装置は高濃度のHCN、NH3が含まれる窒素ベースのガスを処理するプロセス1と、低濃度のHCN...

昭和電工、除害装置向け性能評価サービス有害ガスなど（2019/4/24 素材・医療・ヘルスケア）

同ガスを使用する事業者には、除害装置からのガス排出量報告が義務付けられており、今後、その内容が厳しくなる。昭和電工は除害装置やガス取り扱いのノウハウを生かしてサービスを提供する。従...

オゾン層保護・地球温暖化防止大賞カンケンテクノ、アサダなど表彰（2017/9/14 総合１）

経済産業大臣賞にカンケンテクノ(京都府長岡京市)の「PFC等の新型大気圧プラズマ除害装置」、環境大臣賞にアサダ(名古屋市北区)の「マイナス30℃で検知可能なフロンリーク...

「第20回オゾン層保護・地球温暖化防止大賞」に4件（2017/9/4 素材・ヘルスケア・環境）

【経済産業大臣賞】「PFC等の新型大気圧プラズマ除害装置」カンケンテクノ電子デバイス製造の化学気相成長装置(CVD装置)は、...

真空展・紙上プレビュー(3)高砂工業ほか（2014/10/9）

真空環境に特化した耐熱ケースに収納したデータレコーダーで、真空装置内の製品温度を測れる。... 真空装置の気密性から食品・医薬品包装の密閉性検査など幅広い用途に対応する。【キッツエ...

ニチアス、高温まで加熱できる半導体向け配管ヒーター（2013/10/14）

ニチアス半導体やFPD製造装置向け配管ヒーター「TOMBO NO4500―PH―Pエネサーモ―PHプレノヒータ」を発売した。排気系配管の加熱や除害装置内の配管の加熱などでの用途を想定...

昭和電工、半導体製造時の排ガス除去装置を年内投入（2012/8/21）

昭和電工は年内に半導体や液晶パネルの製造工程で使用したパーフルオロカーボン(PFC)ガスを除害する装置を投入する。自社で販売してきた分解反応式と2010年に日立製作所から事業譲渡された...

昭和電工は半導体や液晶パネルなどの製造時に使う高純度ガスの除害装置を中国で製造する100%子会社、上海昭和電子化学材料(上海市金山区)の営業を8月に始める。... これまで現地...

三浦工業、対象物に応じて滅菌効率化（2011/11/22）

エチレンオキサイドガス除害装置「AJ―200」も発売。

第13回オゾン層保護・地球温暖化防止大賞−受賞者喜びの声（2010/9/10）

【開発要素まだ多く】カンケンテクノ・今村啓志社長創業以来、一貫して進めてきた大気関連の環境保全装置の開発と事業化について入賞の評価をいただき、本当に光栄です。持続可能社会を支える電...

第13回『オゾン層保護・地球温暖化防止大賞』7件(2) （2010/9/9）

同社は1994年からシリコンLSI製造のための除害装置開発に特化し、事業展開を進めている。... 94年の半導体プロセス専用除害装置を手始めに97年にはフッ素化合物の同時除害対応機種を製品化。... ...

SII、高塚事業所にCO2など排出抑制設備を導入（2010/3/5）

半導体前工程で使う製造装置からの排出を一括処理できる。設備は電熱式除害装置のため設備自体のCO2排出を少なくするほか、同工程で使う窒化ガスの再利用も実現する。

ウエハー洗浄装置から揮発して大気中に放出するIPAを約75%除去できる。... 新装置は排気と排液を分離する気液分離ボックスで、ウエハー洗浄装置内部に設置できる。... 従来、製造ラインの外に...