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真空展、78社・団体が出展 最新製品・技術アピール （2017/9/7 機械・ロボット・航空機１）
高速排気と低消費電力を両立。... 芝浦メカトロニクスは高速枚葉式スパッタリング装置「BMシリーズ」を紹介。... 可搬式の架台に真空機器を集約してコンパクト化した。
2017真空展・紙上プレビュー(上)荏原ほか （2017/8/28 機械・ロボット・航空機２）
(3回掲載) 【荏原/空冷方式を採用設置しやすく】 荏原は半導体産業向けの精密製造技術を生かして開...
