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【電子版】先週の注目記事は? (2020/11/10 特集・広告)

■アクセスランキング・ベスト10(11/2~11/8) 1位 半導体製造装置、活況続く 受託製造・メモリー、旺盛な需要 2位 原子力機構、高強度...

EUVレジスト事業を強化する企業が増える中、宮崎秀樹取締役常務執行役員は「リソースを投入して開発を進める。... 22年にはEUVレジストの開発・評価体制の強化を担う新棟を大阪工場(大阪市此花区)に完...

ニュース拡大鏡/住化、5G関連素材の事業化を加速 (2020/10/26 素材・医療・ヘルスケア)

EUVレジスト生産開始/基礎化学研究も 住友化学は、第5世代通信(5G)関連素材の事業化を加速する。... 22年度上半期にはEUVレジストの開発・評価体制の強化を担う新棟が同工場内...

信越化、日台でフォトレジスト増産 先端半導体向け (2020/10/16 素材・医療・ヘルスケア)

EUVレジストは人工知能(AI)や第5世代通信(5G)の普及などに伴い、需要が増えると予想されている。

EUVマスクブランクスは、低膨張ガラス基板の表面に複数の組成から成る膜を積層したもの。EUVマスクブランクスの表面に半導体チップの回路原版を形成したものがEUVフォトマスクで、その回路をシリコンウエハ...

EUVは最先端の露光技術で、第5世代通信(5G)や人工知能(AI)向けの先端半導体の生産に使われる。

マルチ電子ビームマスク描画装置の特性を生かし、新たな感光材料を含むプロセスを独自設計し、EUVマスクの微細構造に合わせて加工条件を最適化した。

なお、同社は顧客の要望に合わせて大幅に性能を向上させたEUVレジストを開発しており、今回の新棟完成に先行し、近く量産を開始する予定。 人工知能(AI)や第5世代通信(5G)などに使わ...

住友化学は、2021年度に半導体材料事業の売上高を18年度比1・5倍強に引き上げる。大阪工場(大阪市此花区)で回路パターンを転写する露光工程用レジスト(感光材)生産設備を拡充し、20年に本格稼働させる...

第62回十大新製品賞/日本力賞 レーザーテック (2020/2/20 電機・電子部品・情報・通信1)

同社は17年、APMIに先行してEUVマスクブランクス(原版)の欠陥をEUV光で検査する「アクティニック・ブランク・インスペクション(ABI)」装置を製品化。... EUVの波長13.5ナノメートルは...

新工場で生産するのは光源に「極端紫外線(EUV)」を用いる最先端のEUVレジスト。

半導体、微細化に挑む 5G・EV進展で (2020/1/13 電機・電子部品・情報・通信)

EUV露光技術は7ナノおよび5ナノメートル世代の半導体デバイスの量産で活用されているが、「回路線幅のバラつきや揺らぎが発生するなどの課題がある」(堀田尚二ナノテクノロジーソリューション事業統括本部事業...

2019年 第62回十大新製品賞 (2020/1/6 十大新製品賞)

【レーザーテック/アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置 ACTIS「A150」】 最先端の半導体加工技術である極端紫外線(EUV)露光用マスクパターンの欠陥を高感度検出する...

EUV露光技術は7ナノおよび5ナノメートル世代の半導体デバイスの量産で活用されているが、回路線幅のバラつきや揺らぎが発生するなどの課題がある。

EUV用材料の生産に対応するため、金属不純物の混入を極限まで減らす装置を導入した。EUV用材料は今後、デバイスの超微細加工で需要増が期待される。

JSRの4―9月期、減収営業減益 エラストマー不振 (2019/10/29 素材・医療・ヘルスケア)

EUV(極端紫外線)レジストの韓国向け輸出管理強化の影響は「半導体関連の売り上げに占める比率は小さく、影響は小さい」(宮崎秀樹取締役常務執行役員)とした。

信越化学の4―9月期、当期最高益 (2019/10/28 素材・医療・ヘルスケア)

EUV(極端紫外線)レジストの韓国向け輸出管理強化の影響は少ないという。

EUV露光による半導体量産に取り組むメーカーに売り込む。 ... DUV光に比べて1ケタ小さい波長13・5ナノメートルのEUV光は圧倒的に高い検出感度を実現し、反射光学系を用いるEU...

生産品目のEUV(極端紫外線)用フォトレジストが対韓輸出規制強化の対象となるなど、環境は変化している。

つくば工場(茨城県筑西市)に10億円投じ、新棟を増設し、車載用半導体などEUV(極端紫外線)向けターゲット材を増強する。 ... 19年中に着工、20年内の稼働を見込み、EUV向けタ...

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