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同社のハンド製品「KUMADE」の表面にある円形の浅い穴がこうした吸着動作を担っており、ハンドを縦にしても逆さにしてもウエハーをしっかり保持搬送することができる。... こうした中で生まれたウエハーの...

ハーモテックが開発した搬送チャック「KUMADE Cup」は、シリンダー形状部品の凹部内側に沿って空気を流出し、渦巻きを発生させる。

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