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同社は1997年に同材料事業を立ち上げ、直江津工場(新潟県上越市)で当時最先端のフッ化クリプトン(KrF)フォトレジストの生産を開始。

ニッポンの素材力 トップに聞く(18)丸善石油化学社長・馬場稔温氏 (2024/3/19 素材・建設・環境・エネルギー1)

特にEUV(極端紫外線)などの先端材料が中心になるが、既存のKrfやArfも車載用途で需要が高まっているので積極的に増強していく」 ―石化再編の機運や脱炭素対応の重要...

複合現実(MR)用ヘッドマウントディスプレーを装着してKrF半導体露光装置内に入ったかのような体験ができるコーナーも用意する。

技研精機が手がける部品はi線やフッ化クリプトン(KrF)を用いた半導体露光装置に使われる。i線やKrFは最先端技術ではないが、パワー半導体向けなどで需要が広がる。

中央演算処理装置(CPU)などにはさまざまな線幅が共存しており、露光装置で言えばi線やKrFなど旧世代も使う。

キヤノンが手がけるi線やフッ化クリプトン(KrF)露光装置の販売も増えている。

キヤノン、KrF露光装置の生産性向上 毎時300枚 (2022/6/14 電機・電子部品・情報・通信)

キヤノンは13日、光源にフッ化クリプトン(KrF)を使う半導体露光装置の生産性向上に成功したと発表した。... 同社の既存のKrF露光装置「FPA―6300ES6a...

半導体露光大手、差別化を追求 三者三様の開発戦略 (2022/5/5 電機・電子部品・情報・通信)

光源として、EUV(波長は13・5ナノメートル)、ArF液浸(同193ナノメートル)、ArFドライ(同193ナノメートル)、KrF(248ナノメ...

経営ひと言/ニコン・濱谷正人常務執行役員「非先端が好調」 (2022/3/22 電機・電子部品・情報・通信)

特に、非先端の技術と言われるi線やフッ化クリプトン(KrF)の装置が好調。

i線に続く非先端技術のフッ化クリプトン(KrF)の引き合いも強く、両装置の販売台数は前年度比10台増の24台の予想だ。... ニコンは露光装置のラインアップとして光源にフッ化アルゴン&...

活況!半導体露光装置(中)ASMLジャパン、最先端EUVの開発継続 (2022/3/16 電機・電子部品・情報・通信)

ただ、半導体はEUVだけではできず、フッ化アルゴン(ArF)液浸、ArFドライ、フッ化クリプトン(KrF)、i線まで含めた装置が必要になり、引き続きそれらの装置の改善も...

中古装置を中心に、光源にi線、フッ化クリプトン(KrF)を用いた非先端の装置が伸びる。... 同社の主要顧客がいるとみられる米国では、既にi線、KrF、ArFドライの装置のほか、ArF...

光源にi線、フッ化クリプトン(KrF)を用いた比較的古い技術だが、IoT(モノのインターネット)や人工知能(AI)の進展、電動車の普及などを背景に半導体...

「極端紫外線(EUV)など先端材料に加え、フッ化クリプトン(KrF)をはじめ既存材料も伸びた」と手応え。

活況!半導体製造装置(5)キヤノン常務執行役員・武石洋明氏 (2020/12/9 電機・電子部品・情報・通信1)

グループから100人超応援 ―i線(波長365ナノメートル〈ナノは10億分の1〉)、フッ化クリプトン(KrF)両装置の2020年の販売台数は前年比40...

高粘度フッ化クリプトン(KrF)レジストも、NAND型フラッシュメモリーの高密度化・大容量化向けに好調だ。

長期的に右肩上がりの流れは変わらないのでは」 ―高粘度フッ化クリプトン(KrF)用フォトレジストが好調です。 ... KrFはそのポテンシャルを持ち...

だが乱高下する半導体市況が事業環境に影響するようになり09年ごろ、光源に水銀を利用するi線露光装置やフッ化クリプトンを使うKrF露光装置を除き、最先端技術搭載の製品開発をいったん停止。

キヤノン、半導体露光装置の生産増強 年内30%増 (2020/3/4 電機・電子部品・情報・通信2)

キヤノンは光源に水銀灯を使用するi線露光装置と、フッ化クリプトンを使用するKrF露光装置の計2種を展開。... 今後i線露光装置の生産増強が中心になるが、KrF露光装置についてもシェアを拡大したい考え...

リオン/高粘度試料、原液のまま測定 (2019/11/4 新製品フラッシュ2)

高粘度フッ化クリプトン(KrF)や厚膜レジスト、ワニス、ポリイミドの原液測定が可能。

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