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化学各社、半導体材料を増産投資 5GでEUVレジスト好調 （2020/11/6 総合１）
EUVレジスト事業を強化する企業が増える中、宮崎秀樹取締役常務執行役員は「リソースを投入して開発を進める。... レジスト材料を製造する東京応化工業は、EUV向けが微細化需要で引き合いが強い。高粘度フ...
アナリストの目(85)東京応化工業 継続投資が不可欠 （2018/11/28 金融）
現在64層の3次元NANDの生産では、KrFレジストを使用し、6―8層ごとに1回エッチングする。KrFレジストを8―12回ほど使用することになるため、1ウエハーあたりのKrFレジストの使用量は大幅に増...
アナリストの目(17)東京応化工業−半導体の微細化追い風 （2017/6/7 金融）
現在48層の3DNANDの生産ではKrFレジストを使用し、6―8層ごとに1回エッチングする。KrFレジストを6―8回程使用することになるため、1ウエハー当たりのKrFレジストの使用量は5倍以上増加する...
東京応化、旧世代レジスト拡販−3Dメモリー向け （2014/11/21）
一般的に旧世代の市場は成熟化していくが、同社はKrFレジストを先端世代と並ぶ成長製品に位置づける。 ... 一方、半導体の微細化に伴い、KrFレジストがシリコンウエハーに不純物イオン...
