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ギガフォトン、半導体製造用ネオンガス−リサイクルシステムを開発 （2016/2/26 機械・航空機２）
hTGMは半導体工場で稼働するレーザー配管に直接接続し、レーザーで使用したガスを収集する。... 同システム1台当たりレーザー5台まで接続できる。 フィールド評価では、発信波長KrF...
