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センサーの中でも、画像・映像を取得するイメージセンサーと、加速度や圧力、音などの多様な物理量を検出・測定可能なMEMS(微小電気機械システム)センサーが最も重要であり、その利用も拡大している。このME...

村田製作所、小型・薄型の慣性力センサー開発 検知性能向上 (2020/5/14 電機・電子部品・情報・通信)

【京都】村田製作所は検知性能を高めつつ、同社従来品比で体積を約75%削減して小型・薄型化した自動車向け3次元MEMS慣性力センサー「SCC3300シリーズ(5軸)=写真」を開発した。

メッキ加工、EV・MEMS狙う 電気自動車(EV)や微小電気機械システム(MEMS)関連などの市場開拓に向けた新規プロジェクトを積極的に展開するスズキハイテック(山形市、023・63...

代表的な窒化物圧電薄膜に窒化アルミニウム(AlN)薄膜があり、IoT(モノのインターネット)社会で利用されているセンサーや通信用デバイス、例えば携帯電話の高周波フィルター、圧力センサー、MEMS(微小...

名誉教授が課題解決 仙台にベンチャー設立 (2020/4/10 科学技術・大学)

東北大名誉教授が中心で、MEMS(微小電気機械システム)分野の第一人者の江刺正喜氏も参画した。

微細加工のノウハウ応用 協同インターナショナル(川崎市宮前区、池田謙伸社長、044・853・2611)は、微小電気機械システム(MEMS)の開発で培った微細加工技術などを生かして産学...

微小電気機械システム(MEMS)分野を伸ばしつつ、同施設のリソースを生かしたオープンイノベーションを進める。 ... これらを生かし、同社が得意とする薄膜プロセスを中心とした超微細加...

当社のMEMS(微小電気機械システム)方式の圧力センサーは半導体素子とダイヤフラム(膜)の間のオイル漏れがなく高精度だ。

三菱電機は12日、MEMS(微小電気機械システム)技術を用いた高機能センサー「LiDAR(ライダー)」を開発したと発表した。... 水平・垂直の2軸で走査する電磁駆動式MEMSの鏡を搭載することで小型...

京セラ、シリコンMEMS参入 水晶超える特性実現 (2020/2/28 電機・電子部品・情報・通信2)

【京都】京セラは、シリコンMEMS(微小電気機械システム)事業に参入する。子会社化したフィンランドのベンチャー企業の技術を使い、従来の水晶振動子やシリコン製品では実現できない周波数温度特性とESR(等...

KMC、寿命7年の超小型無線タグ 設備データ収集 (2020/2/25 電機・電子部品・情報・通信1)

無線式センサー(子タグ)に微小電気機械システム(MEMS)センサーを採用。

パイオニアは微小電気機械システム(MEMS)方式を採用することで構成部品を集積化したライダーを20年度上期にも発売する。

変化と進化 電子部品トップに聞く(1)TDK社長・石黒成直氏 (2020/2/14 電機・電子部品・情報・通信2)

スマホ向けではトンネル磁気抵抗素子(TMR)センサーや微小電気機械システム(MEMS)マイクロホン向けなどが好調だ。

体積の大部分を占める光干渉計の設計を見直すとともに、独自の微小電気機械システム(MEMS)技術を用いて可動ミラーを改良。

TDK、業界最小超音波センサー 測定距離最大5m (2020/1/30 電機・電子部品・情報・通信2)

TDKは微小電気機械システム(MEMS)技術を活用した業界最小の超音波センサー「CH―201=イメージ」を4月にも一般向けに販売する。

小型で角度直接検出 東芝がジャイロセンサー (2020/1/28 電機・電子部品・情報・通信1)

加えて、独自の微小電気機械システム(MEMS)技術を用いてセンサーを小型化し、5センチメートル角のモジュールを実現した。

同印刷機向けに、微小電気機械システム(MEMS)技術を用いたピエゾ方式のインクジェット(IJ)ヘッドを開発した。

低コストな微小電気機械システム(MEMS)ミラーのスキャン方式を採用した量産モデルと組み合わせることで用途に応じたカスタマイズが可能。

低コストな微小電気機械システム(MEMS)ミラーのスキャン方式を採用したとしているが価格は非公表。

ロボットと創る!/中核部品で存在感 (2019/12/18 電機・電子部品・情報・通信2)

また、動き回るようなロボ向けには障害物を検知する超音波センサー、ヒューマノイド型ロボ向けには、“耳”用途で微小電気機械システム(MEMS)マイクロホンもある。

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