まずはチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を使った微小電気機械システム(MEMS)デバイスを想定する。

従来の鉛を含むチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)薄膜並みの性能を実現し、実用化レベルに到達した。 ... 寿命はPZT薄膜よりも優位という。 ... 必...

KRYSTALのチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の圧電単結晶薄膜のみをバッファー層から剝離し、SOIウエハーに直接接合する技術を確立した。

MEMS基板のシリコンウエハーに単結晶PZT(チタン酸ジルコン酸亜鉛)薄膜を生成し、圧電薄膜の性能指数(FOM)を業界最高の40―50台に高めた。... 同MEMSのP...

チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)単結晶膜の成膜やウエハー販売を手がけるKRYSTAL(クリスタル)。... PZT単結晶膜は研究室レベルで試作されていたが、同社は2019...

極薄MEMSデバイス技術により、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)圧電薄膜を搭載した極薄シリコンを複数個フィルム基板上に一体化した極薄MEMSひずみセンサーシートを開発した。

8インチのシリコン基板上にチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)薄膜をスパッタ法で均一形成する独自技術を最近確立した。... SSSLはPZT薄膜を使うピエゾ式MEMSセンサーなどが強み。

TDKは低温プラズマを発生させるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)セラミック製小型素子「セラプラス HF」を開発した。

圧電薄膜のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)をウエハー上に形成する技術によって、素子と駆動部を一体的に作製することができ、薄型化にもつながった。一般的に超音波センサーの素子は、セラミックス...

チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の圧電薄膜に感応膜を塗布した検知素子を使う。... 第一精工はこれまで培ったPZT薄膜のMEMS技術を生かしてMSSと差別化し、シェア拡大を狙う。 ...

分極の回転は、実用材料であるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の巨大な圧電特性の起源であるとされていた。... 現在の主流はPZTだが、毒性のある鉛を重量比で68%含むため、鉛を使...

圧電薄膜にチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を使用。シリコンウエハー上にPZTを成膜し、ミラー状に加工する。

振動発電素子としてはチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)圧電素子が知られるが、電気抵抗が高いほか、もろく割れやすい課題がある。

圧電材料ではチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)が一般的だが、キュリー温度が低い。

アルバックは、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を使った圧電素子デバイスの量産技術確立に向けた共同開発を行うことで、独ロバート・ボッシュと基本合意した。... アルバックは、500度C以下...

▽米国アラスカ州ナオシ地区にて発見された含金複雑硫化鉱の処理プロセスの検討について=住友金属鉱山▽Pogo鉱山のDrift and Fill採鉱法における最近の課題と今後の展開...

アルバックは25日、圧電材料となるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の薄膜を微小電気機械システム(MEMS)に、500度C以下の低温で形成できるスパッタリング技術を開発した...

開発したMEMS3軸加速度センサーは、圧電薄膜にチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を用いた。任意の触媒を加えることで、PZTの性能を示す圧電乗数を高めつつ、電力損失の度合いである誘電率を抑...

【京都】SCREENホールディングスの半導体装置事業会社、SCREENセミコンダクターソリューションズと、三菱マテリアルは23日、微小電気機械システム(MEMS)デバイスにチタン酸ジル...

一般的にチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)という鉛を含む材料が使われているが、今回環境特性に優れるニオブ酸カリウムナトリウム(KNN)を選定した。従来のPZTのセンサーと同...