[ 化学・金属・繊維 ]

神鋼、CVD式で参入−DLC成膜、デンソーから技術

(2016/2/17 05:00)

神戸製鋼所はダイヤモンド・ライク・カーボン(DLC)膜の成膜速度を5倍以上に高めた成膜装置を投入した。デンソーから技術供与を受け、初めて化学気相成長(CVD)方式を採用。成膜速度で1時間当たり5マイクロメートル(マイクロは100万分の1)と、主力の物理気相成長(PVD)方式の装置...

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(2016/2/17 05:00)

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  • 神戸製鋼所はダイヤモンド・ライク・カーボン(DLC)膜の成膜速度を5倍以上に高めた成膜装置を市場投入した。デンソーから技術供与を受け、初めて化学気相成長(CVD)方式を採用した。従来方式よりどんな利点が期待されるのか?

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