新領域技研、極低温作動の電磁弁開発 ４Ｋの液体ヘリウム対応

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  極低温下のリーク性能を大幅に高めた電磁弁「ＵＥＶ」

新領域技術研究所（千葉県柏市、武田常広社長、０４・７１３４・５９１３）は、極低温下でも確実に作動するソレノイドバルブ（電磁弁）「ＵＥＶ」を開発した。４ケルビン（マイナス２６９度Ｃ）の液体ヘリウムに対応し、１秒当たり１０のマイナス７乗（１０００万分の１）パスカル立方メートル以下の漏れ（リーク）性能で制御する。自社製品の冷却用液体ヘリウム循環装置に採用するほか、産業分野で幅広く需要創出を狙う。

冷却用液体ヘリウム循環装置は、医療用の脳磁計（ＭＥＧ）や磁気共鳴断層撮影装置（ＭＲＩ）で超電導状態を発現させるためのヘリウムを回収・再利用する。新領域技術研究所の独自製品で、超電導の物性試験装置にも使われる。

従来、同装置の流体制御はセラミックス製ボールをガス吸引により受動的に閉じる逆止め弁方式だったが、リーク性能は１秒当たり１０のマイナス３乗（１０００分の１）パスカル立方メートルが限界。これが「空気の混入による流路閉塞（へいそく）などトラブルの原因になっていた」（武田社長）という。

逆止め弁に代替するＵＥＶは低温でも特性を保つ特殊合金バネと永久磁石を組み合わせ、熱影響のない瞬間的なパルス入力で開閉状態を自己保持する。主要部材はステンレスで、弁座（流路孔）部分がエンジニアリングプラスチック製。

ヘリウムの最大用途である半導体・液晶製造装置、光ファイバー生産関係のほか「液体水素・酸素・窒素、液化天然ガス（ＬＮＧ）などを扱う各種装置・プラントに適用できる」（武田社長）とみている。

最大流量が毎分５０ノルマルリットル、同２００ノルマルリットルの２タイプを設定。「サンプル価格は仕様により５０万円程度から」（同）になる。