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記事検索結果
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実際にJSRは21年には極端紫外線(EUV)の露光効率を高める金属系レジストを製造する米インプリアを約450億円で買収。
JSRは極端紫外線(EUV)用メタルレジストに強みを持つ米インプリア(オレゴン州)を買収する。... インプリアは2007年設立。... 今回、両社はインプリ...
【米VBに投資】 ベンチャー投資にも意欲的で、最近は金属の無機材料を主成分とするフォトレジストの開発に挑む米インプリア・コーポレーションに出資した。
まずは従来のフッ化アルゴン(ArF)露光装置では難しい、最先端の中でも限られた領域に訴求していく」 ―米インプリアへの出資で、EUV向け金属含有レジストの開発も進みそ...