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ネットワークの強みを生かせる」 ―不純物拡散工程などに使われるジボラン(B2H6)の増産を進めています。
一般に半導体工場では材料ガスとしてアルシン、ジシラン、ジボラン、ホスフィン、セレン化水素など多種の濃度測定を、各工程ごとに膨大な数量の検知部で管理している。
大陽日酸が供給するのは、ジボランやフルオロメタンといった特殊材料ガスだ。... 特殊材料ガスの工場としては日本と米国、韓国に続き4カ国目で、ジボランの合成充填やフルオロメタンの精製充填設備、混合ガスの...
大陽日酸は半導体の回路形成や表面洗浄に使うジボランやフルオロメタンといった特殊材料ガスで、高い世界シェアを持つ。
大陽日酸が中国と韓国で増産に乗り出す材料ガスのジボランは、実は20―30年前からある汎用ガスだ。
立体化で工程が複雑になり、例えば他用途で一般的なジボランが戦略製品として浮上する例も出てきた。
中国の揚州大陽日酸半導体気体(写真)にジボランの合成充填やフルオロメタンの精製充填設備などを新設し、2019年1月をめどに稼働する。... また、子会社である米マチソン・トライガス...