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日本化学工業が提供するQD向けのリン原料はホスフィン誘導体(リンを基にした誘導体)の一種で、関連製品は5種類以上。... 福島第二工場では、30年以上前からホスフィン誘導体の生産を開始...
一般に半導体工場では材料ガスとしてアルシン、ジシラン、ジボラン、ホスフィン、セレン化水素など多種の濃度測定を、各工程ごとに膨大な数量の検知部で管理している。
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日本化学工業が提供するQD向けのリン原料はホスフィン誘導体(リンを基にした誘導体)の一種で、関連製品は5種類以上。... 福島第二工場では、30年以上前からホスフィン誘導体の生産を開始...
一般に半導体工場では材料ガスとしてアルシン、ジシラン、ジボラン、ホスフィン、セレン化水素など多種の濃度測定を、各工程ごとに膨大な数量の検知部で管理している。
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