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量子計測原理は、反射波の2次情報を利用して画像化する技術。... そのため、反射波に対する擾乱(じょうらん)によって性能が急激に劣化する。 これに対し、量子レーダーカ...

波長193ナノメートルのレーザー波で露光するArFリソグラフィーでの半導体製造が可能。

光源に自社開発の全固体レーザーを採用。... 光源を水銀キセノンランプからレーザーに変更。... レーザー波で露光するArFリソグラフィーで問題となる表面の異物や汚れなどの検査にも対応する。

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