オランダ当局はASMLのDUV(深紫外)液浸露光装置2種類に対して輸出許可要件を拡大すると発表。

その上で日本の人材に深紫外(DUV)からEUVまで経験の幅を広げてもらう。

共同チームは、次世代半導体の基板加工技術である深紫外(DUV)レーザー加工機を使い、層間絶縁膜への微細な穴開け加工を実現した。

例えば波長266ナノメートル(ナノは10億分の1)の深紫外(DUV)レーザーをピコ秒(ピコは1兆分の1)単位で照射する。... ピコ秒のパルス幅のDUV...

同社は波長266ナノメートル(ナノは10億分の1)の深紫外線を利用した、深紫外(DUV)パルスレーザーを安定的に照射する技術を手がける。

深紫外線(DUV)や3次元実装への展開などで、シナジーが出てきている。... 「DUV領域とフラットパネルディスプレー(FPD)向け領域が着実に伸びていく。

得意とする半導体前工程のEUVペリクルだけでなく、深紫外線(DUV)を光源とした露光工程で使用されるDUVペリクルを生産する。

三井化学が得意とする深紫外線(DUV)を光源とした半導体の露光工程で使用されるDUVペリクルにおいても、市場で高い評価を受けているという。

ウエハー表面に当てるレーザーについて出力が高く、波長も短い深紫外(DUV)レーザーを採用することで、一般的なUVレーザーを使っていた従来機に比べ、異物や欠陥から跳ね返る散乱光がより多く...

ナイトライド・セミコンダクター(徳島県鳴門市、村本宜彦社長)は、国立病院機構仙台医療センター(仙台市宮城野区)と共同で、深紫外線(...

25年までに生産台数をEUV露光装置で20年比2倍以上に、DUV(深紫外線)露光装置で同1・5倍以上にそれぞれ増やす。

大成建設は遠藤照明と共同で、室内のウイルスなどに殺菌効果がある深紫外線(DUV)を照射する空間殺菌灯「T―LED DUV Light=写真」を開発した。... ...

従来EUV露光用マスクの検査では、主に光源に深紫外線(DUV)光を用いてきたが、EUV光の方がDUV光より波長が短く、欠陥の検出感度が高い。現在最先端の回路線幅5ナノメートル(...

FPD露光装置として、初めて深紫外(DUV)波長を発光する新光源を搭載した。... これまで使われてきたg線、h線、i線の波長がそれぞれ436ナノメートル(ナノは10億分の1&...

これまでEUVのパターン付きマスク検査は、深紫外線(DUV)光が使われていた。DUV光に比べ1ケタ小さい波長13.5ナノメートルのEUV光は圧倒的に高い検出感度を実現。

これまでEUVのパターン付きマスク検査には、従来と同じ深紫外線(DUV)光が使われていた。DUV光に比べて1ケタ小さい波長13・5ナノメートルのEUV光は圧倒的に高い検出感度を実現し、...

ナイトライド・セミコンダクター(徳島県鳴門市、088・683・7750)は波長275ナノメートルの深紫外線発光ダイオード(DUV―LED)で流水を殺菌する「深紫外線LE...

深紫外線発光ダイオード(DUV―LED)と相補型金属酸化膜半導体(CMOS)カメラ、コンタクトイメージセンサー(CIS)を活用して実現した。 &...

ナイトライド・セミコンダクター(徳島県鳴門市、村本宜彦社長、088・683・7750)は、ハイパワーの深紫外線発光ダイオード(DUV―LED)モジュール(写真&...

275ナノメートル(ナノは10億分の1)の波長を持つ深紫外(DUV)の発光ダイオード(LED)を搭載。... 2020年以降にも殺菌用途の水銀ランプに規...