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記事検索結果
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非破壊でウエハー上の欠陥分布が分かるため、出荷検査などに利用できる。 パワーデバイスの製造ではSiCウエハー上にさらにSiCを結晶成長させてデバイスに用いる。もとのウエハーの欠陥がデ...
半導体ウエハー上に回路を形成するための穴や溝を掘るエッチング装置などの開発・評価を担うとみられる。... ロジック半導体などで最先端から成熟世代まで幅広く需要が拡大し、半導体ウエハーに感光剤を塗って現...
(梶原洵子) 半導体産業においてウエハーは最重要素材の一つ。... SiCウエハーは、経済安全保障上重要な“チョークポイント”...
3Dビジョンセンサーの事業化や、半導体ウエハー上の液体成分を計測できる機器の開発などで成果が出ている。
【2000℃以上】 東洋炭素はシリコンや炭化ケイ素(SiC)単結晶製造工程向けのほか、ウエハー上に窒化ガリウム(GaN)層を製膜する際に使用する「MO...
【EUV向け増】 同社はルテニウムを用いた成膜材料「スパッタリングターゲット材」を、半導体ウエハー上に微細回路を形成する材料や、回路パターンを同ウエハーに焼き付ける原盤の母材「マスク...
大容量高速通信、光導波路で安定 セーレン子会社のセーレンKST(福井市)は、シリコンウエハー上に酸化シリコンを厚膜形成するオンリーワン技術を武器に、光通信用途で成長を...
クラボウは半導体ウエハーを1枚ずつ洗浄する枚葉式装置において、ウエハー上の液体成分をリアルタイムで計測できる機器を開発した。... 半導体製造の枚葉洗浄工程では洗浄後のウエハーを乾燥させるため、表面に...
下地を作り込んだウエハー上に、アンプなど各種ICに共通する回路を配置しておいて、マスクを使わずに直接描画して配線する方法を採用し、設計・生産コストの大幅削減を狙う。 自社で生産設備は...
中外炉工業は、ウエハーやガラス、樹脂など各種基板への塗工液の塗布装置を開発した。... 中外炉工業はウエハー塗布装置「RSコータ」を8月上旬に発売する。ウエハー上には絶縁や耐熱などの役割を担うポリイミ...
20年内にウエハー上のLEDチップを超高速で基板上に配置する新型のレーザー転写装置を市場投入する。... すでに東レエンジは転写装置の前後工程向けに、LEDチップの波長推定や外観・発光強度の不良を蛍光...
まず、幅広いビームで全面のゆがみを一度に可視化するために、ウエハー上の結晶の場所と、ピクセルと呼ばれる多数の小さな独立の素子が2次元に並んだ検出器の位置を1対1に対応させ、ウエハーを回転して2方向以上...
計測精度のほか、ウエハー上に形成された半導体の微細な回路パターンの寸法を計測するスピードを速めた。電子線スキャンシステムやウエハー搬送システムの機能を向上し、1時間当たりの処理枚数を同20%増...
半導体でシリコンといえば、まずウエハーを思い浮かべるだろう。... 半導体製造の前工程はウエハー上に微細な加工など物理的・科学的なプロセスを経て大規模集積回路(LSI)チップを作る工程...
成分中の不純物や水分の除去を徹底したことで、ウエハー上にナノ(ナノは10億分の1)メートル単位の極薄膜をより均一、かつ安定的に成膜できるようにした。
