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電子線は空気に触れると散乱するため、内部を真空にする必要がある。真空中で生物試料は水分が抜けてくしゃくしゃに変形してしまう。... 試料の周囲数ミリメートルだけを低真空にコントロー...

【サポイン事業採択】超小型広帯域真空計の開発岡野製作所は2006年度、09年度戦略的基盤技術高度化支援事業(サポイン事業)に...

岡野製作所(大阪市中央区、岡野忠弘社長、06・6203・4431)は、熱伝導方式の「マイクロコイル真空計AMC型=写真」を発売した。... 従来の熱伝導方式真空計で一般的なピラ...

【諏訪】日本ピスコ(長野県岡谷市、山崎清康社長、0265・76・2511)は、特殊形状のローターを採用し、低騒音・低振動を実現したロータリー真空ポンプ「RPV06=写真」シリー...

京大、レアアースを現地で分析できる小型装置を開発（2012/9/14）

従来は真空度を高めた試料室などが必要で大型になるが、新装置は真空度が比較的低くても電子線が発生できる「焦電結晶」を用い、重量約5キログラムの小型化を実現した。... 真空中は浮遊電荷が少なく、表面の帯...

日本電子、利便性向上した卓上走査電子顕微鏡を発売（2012/4/10）

また高真空圧を通さずに低真空状態を直接作れるため、観察までに要する時間を2分30秒(従来は3分)に短縮できる。

真空度の領域に合わせて必要な測定子を搭載できる。... 中真空から高真空までの領域を測定できるマルチイオンゲージに、低真空に対応するピラニゲージと大気圧を測定できる大気圧センサーを接続できる。3機種を...

日立ハイテク、卓上型で倍率3万倍の電子顕微鏡を開発（2010/1/27）

絶縁物試料を前処理なしで観察できる低真空タイプで販売を伸ばしてきた。

ニクニ、プラ部品向け薄膜成膜装置を発売（2009/9/9）

【川崎】ニクニ(川崎市高津区、大崎荘一郎社長、044・833・1101)は、大気圧1パスカルと低真空域で短時間にスパッタリングする薄膜成膜装置「NECS T(ネクスト&...

半導体装置各社、450ミリメートルの次世代ウエハーに対応（2009/7/10）

来春をめどに次世代の低真空ウエハー搬送ロボットを完成、ロードポートとのモジュール供給体制を整える。

日本電子、SEM8機種を発売（2008/7/9）

「JSM―6510LV/6610LV」は低真空機能を搭載し、生物など水を含む試料や導電処理が困難な試料を観察できる。「JSM―6510LA/6610LA」は低真空機能に、分析装置を...