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記事検索結果
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GEPは主に半導体、液晶プロセスに使用し、超純水、イソプロピルアルコール(IPA)、オゾン水、アミン系はく離液の移送や循環に使うポンプ、バルブ、継ぎ手、パイプ、タンクなど接液部を酸化処...
同装置で生成した過硫酸をウエハー上のレジストはく離に使うことで、従来必要だった過酸化水素水はゼロ、硫酸の使用量は10分の1に抑えられる。... 現在、レジストはく離には、過酸化水素水と硫酸の混合溶液に...
2010年には過酸化水素水での滅菌が可能な小型多関節ロボット「VP―G2」を発売するなど医薬品や食品向けの拡販にも力を入れている。
薬品に強いシール材を使っており、医療器具や医薬品の工場で使用する場合、ロボット本体を過酸化水素水で消毒できる。
開発したのは、特殊な化学処理をした白金系の触媒で、過酸化水素水を酸素と水に効率的に分解する。... 新触媒はペットボトルなどを再利用する上での消毒や、リネンの漂白に使用される過酸化水素水の分解といった...
過酸化水素水に加え日本ポリグルが開発した独自の凝集剤「PGα21Ca」を用いることで、さまざまの濃度のヒ素汚染への対応を可能にした。... バングラデシュの地下水を用いた実験では、単独使用で飲用水レベ...