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記事検索結果
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現在64層の3次元NANDの生産では、KrFレジストを使用し、6―8層ごとに1回エッチングする。KrFレジストを8―12回ほど使用することになるため、1ウエハーあたりのKrFレジストの使用量は大幅に増...
先端材料に加え、フッ化アルゴン(ArF)やフッ化クリプトン(KrF)フォトレジスト、3次元(3D)NAND型フラッシュメモリー向け製品など汎用品も期待で...
【山形】管製作所(山形県天童市、管信良志社長、023・655・6100)は、6軸多関節ロボットを搭載したロボット高圧洗浄機「KRF―1=写真」を開発、8日に発売する。
需要動向を見極め、旧式のフッ化クリプトン(KrF)用フォトレジストについても3年内の増産を検討する。
現在48層の3DNANDの生産ではKrFレジストを使用し、6―8層ごとに1回エッチングする。KrFレジストを6―8回程使用することになるため、1ウエハー当たりのKrFレジストの使用量は5倍以上増加する...
現状、ニコンは先端技術では蘭ASMLに完敗し、フッ化クリプトン(KrF)など旧式装置では低価格と短納期が強みのキヤノンに勝てない。... KrFやi線、乾式のArFといった装置も扱い、...
新装置はフッ化クリプトン(KrF)を光源とし、直径100ミリ―200ミリメートルのウエハーに対応する。
◇ ◆ ◇ ―i線、KrFの両装置の2015年の販売台数は前年比約50%増の80台。... 「i線とKrFの両装置の市場が倍増することはないだろうが、堅調とみ...
同社のi線とKrF装置の合計販売台数は16年に、3年前に比べて倍増の86台まで増える見通し。増産投資で生産能力を確保し、20年にKrF装置の業界シェアを50%(現在は20%超&...
フィールド評価では、発信波長KrFレーザー向けで開始し、次に同ArFレーザーにも適用していく計画。
新工場ではフッ化クリプトン(KrF)エキシマレーザーやフッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザー向けフォトレジストを生産する見通し。
東京応化工業は旧世代の半導体製造材料であるKrFフォトレジストを拡販する。... 一般的に旧世代の市場は成熟化していくが、同社はKrFレジストを先端世代と並ぶ成長製品に位置づける。 ...
キヤノンは光源にKrF(フッ化クリプトン)を採用した半導体露光装置「FPA―6300ES6a=写真」を発売した。... KrFは露光波長が248ナノメートル(ナノは10...
