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アジレント、蓄積物を自動除去する分析計用イオン注入装置（2016/8/18 機械・ロボット・航空機）

【立川】アジレント・テクノロジー(東京都八王子市、合田豊治社長、042・660・3111)は、蓄積物を自動で除去できるイオン注入装置(イオン源)「ジェットクリーン...

配電盤など電力機器が国内外で伸長するほか、中小型フラットパネルディスプレー(FPD)製造用イオン注入装置需要が海外を中心に増加する。SCREENホールディングス(HD)...

住重、子会社名を「住友重機械イオンテクノロジー」に変更（2015/2/27）

住友重機械工業はイオン注入装置を手がける子会社SEN(東京都品川区)の社名を4月1日付で「住友重機械イオンテクノロジー」に変更すると26日に発表した。

一方、子会社が手がける太陽光発電用パワーコンディショナーや、中小型液晶パネル製造用イオン注入装置、建設用鋼材などで需要減少や期ズレがあり、利益項目は従来予想を据え置く。

産総研の企業連携&VB支援(36)陽電子ビーム空孔計測装置（2014/12/18）

しかし、この装置は電子加速器で陽電子を発生させるため、装置の全長が数十メートルもあり、企業などの材料開発の現場で利用できるものではなかった。 ... 装置のサイズは長さ2メートル、高...

小型半導体製造設備が実用化−“ミニマル化”で巻き返し（2014/8/20）

残るイオン注入装置や、薄膜を形成するCVD装置の開発も進む。 ... ハイブリッド型はすでに実用化しており、3月には自動車関連メーカーから洗浄装置2台、現像装置、途工機の計5台を初受...

日新電機、中国・江蘇省に新工場−イオン注入装置を生産（2012/1/27）

【京都】日新電機は26日、中国・江蘇省揚州市で半導体・薄型ディスプレー(FPD)製造用イオン注入装置の生産を7月に始めると発表した。... 日新意旺高科技はイオン注入装置メーカー。.....

【京都】日新電機は27日、子会社の日新イオン機器(京都市南区)が開発した5・5世代ガラス基板対応フラットパネルディスプレー(FPD)製造用イオン注入装置「イオンドーピン...

日新電機、日新イオン機器米テキサスに現法（2010/12/1）

現地半導体工場からイオン注入装置の大口受注を得たことを機に、米国での装置立ち上げや保守業務などに関するサポート体制を強化する。資本金は150万ドル(約1億2600万円)で日新イオン機器...

エム・イー・エス・アフティ、イオン注入装置を中国社に納入（2010/10/28）

三井造船は27日、子会社のエム・イー・エス・アフティ(東京都八王子市、内田省寿社長、042・632・8840)がアクティブ型有機エレクトロルミネッセンス(EL)ディスプ...

三井造船、子会社間で事業移管（2010/2/2）

ガソニックスは熱処理・成膜装置などをつくる。一方、エム・イー・エス・アフティは半導体の成膜装置を製造するほか、2009年には三井造船からイオン注入装置の事業部門を譲り受けた。成膜から不純物注入、熱処理...

三菱電、炭化ケイ素パワー半導体に135億円を投資（2010/1/13）

1000度―2000度Cの超高温処理が必要となるSiCの材料特性に合わせ、約35億円を投じ高温イオン注入装置や高温アニール装置などを導入。

各社、車載向けSiCパワー半導体の開発加速（2009/10/27）

直径4インチウエハーを活用する見通しで、ラインにイオン注入装置やアニール装置などを追加する方針。

【京都】日新イオン機器(京都市南区、長井宣夫社長、075・922・4611)は、イオンの集合体(クラスターイオン)を利用するイオン注入装置「クラリス=写真」を開...

住友重機械、半導体市況の悪化で米アクセリス買収を断念（2008/9/17）

住友重機械工業は16日、半導体製造装置メーカーの米アクセリス・テクノロジーズ(マサチューセッツ州)の買収を断念したと発表した。... 両社によるイオン注入装置の合弁事業は継続する。&#...

深層断面/日本企業の“米国買い”続々（2008/9/10）

(川瀬治) 【住友重機】住友重機械工業は米国の半導体製造装置メーカー、アクセリス・テクノロジーズ(マサチューセッツ州)の買収交渉を進めている。両社は8...

住重、米の半導体製造装置メーカーに買収提案（2008/2/13）

住友重機械工業は米ナスダック上場の半導体製造装置メーカーのアクセリス・テクノロジーズ(マサチューセッツ州)に買収を提案した。... 住重とアクセリスは83年に共同出資で、半導体製造装置...