記事検索結果

岡野製作所、ガス濃度分布計測センサーの生産能力8倍に増強（2014/2/21）

マイクロセンサ事業部(大阪市大正区)内のスパッタ装置を改良して処理能力を増やし、基準圧力校正装置1台を新たに稼働する。... 加工対象物(ワーク)の近くに複数のセンサー...

島津、電源一体型ターボ分子ポンプ−消費電力15%削減（2013/8/30）

【京都】島津製作所は29日、腐食性ガスを使用するエッチング装置などにも対応した電源一体型ターボ分子ポンプ「TMP―X2905シリーズ」「同X3405シリーズ=写真」を9月2日に発売すると発表し...

材料と成膜装置の工夫で低抵抗と高透過を両立させた。 ... 成膜装置は対向ターゲット式スパッタ装置を改良した。

勝つ/魁半導体(2)“コトづくり”経験生かす（2013/6/19）

関東地方の大学院で修士課程を修了し、たまたま就職したのが京都の半導体装置メーカーで、ここでは薄膜形成装置の開発に携わった。... それは「プラズマをツールとして見ていたため深く知らないという現実、深く...

半導体製造装置メーカー、3D半導体対応の製造装置開発を加速（2012/12/5）

半導体製造装置メーカーが立体構造(3D)半導体に対応した製造装置の開発を加速する。... アルバックはスパッタリング装置を新たに開発したほか、東京エレクトロンは米国の関連装置メーカーを...

真空展/紙上プレビュー−芝浦メカトロニクスほか（2012/10/11）

【芝浦メカトロニクス/用途に応じた成膜装置】 R&D用スパッタリング装置「i―Miller」を出展する。自動供給機付きで研究から生産までの用途に応じた成膜装置。.....

清水製作所、アルミ性遮熱フィルムを薄膜加工（2012/8/3）

加工用に、アルゴン・窒素ガスの中でフィルムとアルミの間に電圧を加え、アルミや窒化アルミを粒子で成膜させるスパッタ装置を開発した。

設備は工学部の発電システム、スパッター装置のほか、農学部の阿見キャンパス(同阿見町)の顕微鏡などに損害があった。

アステムゴードー、スパッタ装置発売−タッチパネル高速成膜（2011/12/1）

【神戸】アステムゴードー(大阪市淀川区、中田定宏社長、050・7100・2441)は、ナチュラテクノロジー(兵庫県尼崎市、平田豊明社長、06・6421・5712)と共同...

アステムゴードー、100度C以下で成膜−スパッタ装置実用化（2011/7/22）

アステムゴードー(大阪市淀川区、中田定宏社長、050・7100・2441)は、酸化シリコンなど反応性スパッタリングによる成膜が100度C以下の低温で、高速かつ100%近い歩留ま...

日立造船、築港工場に精密機械センター新設（2011/4/5）

太陽電池や液晶の製造装置のデモ機を置くほか、開発人員らを集約して有機エレクトロルミネッセンス(EL)照明・ディスプレーや燃料電池などの新規分野の研究開発を強化する。... 液晶パネル向...

山口大、薄膜の堆積速度調整できるスパッタ装置開発（2010/11/12）

【山口】山口大学大学院理工学研究科の諸橋信一教授は、薄膜の堆(たい)積速度を調整できるスパッタ(成膜)装置を開発した。フィルムなどの柔らかい基板に薄膜を形成する際は、損...

研究グループが独自に開発した全自動で八つの成膜条件を変化できるスパッタ装置で酸化亜鉛の結晶の並び方を工夫して成膜した。

中性原子は電場や磁場に影響されずに動くため、化学気相成長(CVD)やスパッター装置と連結してチャンバー内での分析ができる。... 同装置は科学技術振興機構の「独創的シーズ展開事業...

長崎県工業技術センター、ものづくり支援センターを開設（2010/7/8）

機械加工分野ではUBMスパッター装置や形状粗さ計測機など、食品加工分野では超高速液体クロマトグラフィーなどをそれぞれ導入した。

勘所はここ・技術士の目線(46)真空装置の自己健診（2009/5/20）

【部品開発の母体】半導体、光学、記録メディアなどは、多くが蒸着、スパッタ、CVDなど真空装置を用いて作成された薄膜技術部品で構成されている。... (3)ポンプの排気性能の把...

九州大、16日にKASTECセミナー（2009/1/9）

山川洋幸九大産学連携センター客員教授(アルバック専務取締役)が「スパッタ装置とプロセスの進歩」と題して講演する。