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VACUUM2023真空展/半導体製造の課題解決 (2023/11/30 機械・ロボット・航空機2)

日立造船はスマートフォンやパソコンの保護フィルムに、反射防止や水滴などの防汚の機能を付与する一体型成膜装置を展示した。

東北大学の柿沼洋助教らは、金属にポリアニリンを成膜して水素の拡散経路を可視化する観察技術を開発した。... 純ニッケル箔にポリアニリンを成膜して光学顕微鏡で観察する。

既存の成膜装置を使えるため安価な製造法になると期待される。

大電力パルス電源で高密度プラズマを発生させて成膜する大電力マグネトロンスパッタリング(HiPIMS)方式を採用して実現。... 低温成膜可能な特徴を生かして、樹脂やフィルムに成膜する需...

先端材料技術展2023/紙上プレビュー(4) (2023/11/23 素材・建設・環境・エネルギー)

【Bax/廃プラ・バイオ樹脂向け小型機】 Bax(大阪府松原市)は、2軸混練コンパウンド(写真)やTダイフィルム製膜のサ...

ADEKA、埼玉拠点に開発新棟 半導体関連材料向け (2023/11/23 素材・建設・環境・エネルギー)

850平方メートル超のクリーンルームを整備し、各種分析設備や成膜評価設備などを導入。... 成膜工程に用いるALD(原子層堆積)材料や成膜助剤、後工程向けのプロセス材料など半導体関連材...

これまではシリコンウエハーに下地膜を成膜し、その上からAlNを成膜したが、これらが不要になり、大幅なコストダウンが可能になる。... ステンレス基板上に成膜したAlNをX線回折プロファイルで測定したと...

セラテックジャパンは本社敷地内に新工場を含む7工場を有し、ファインセラミックスの切断から研削、研磨、成膜までの一貫加工を手がける。

ユポ・コーポ、合成紙の利点紹介 サービスサイト開設 (2023/11/9 素材・建設・環境・エネルギー1)

加えて独自に考案した「2軸延伸フィルム成形法」で成膜する際にできるミクロボイド(微細な空孔)の働きと特殊な表面処理の効果で、紙のような白さと印刷・筆記に適した性質を示す。 &#...

加速空洞は内面を鏡面に磨き上げてからニオブを成膜して超電導化する。

スパッタリングターゲットは半導体ウエハーの成膜に使う円盤状の材料。

VACUUM2023真空展/紙上プレビュー(5) (2023/11/3 機械・ロボット・航空機)

【日本電子/低ダメージ成膜の新型蒸着源】 日本電子は高機能光学薄膜の成膜に最適な電子銃・電源、ボンバード蒸着源、プラズマソースを出展する。電子ビームボン...

VACUUM2023真空展/紙上プレビュー(4) (2023/11/1 機械・ロボット・航空機1)

均一に成膜できるという同社のバッチ型スパッタリング装置の特長はそのままに、ロードロック室(カセット室)を搭載したことで、生産効率の向上も見込める。

VACUUM2023真空展/紙上プレビュー(3) (2023/10/31 機械・ロボット・航空機1)

【オプトラン/急峻な立体構造に緻密な成膜】 オプトラン(埼玉県鶴ヶ島市)は、ALD(原子層堆積法)装置「ALDER...

ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上にシリコーンゴムとオイルの混合ゲルを成膜する。

上場で資金調達の選択肢を増やし、主力の成膜装置の能力増強や先端技術の開発強化につなげる。... 半導体の土台となるウエハーに薄い膜を加工する成膜装置などを主力とする。特に「バッチ式」と呼ばれる数十枚の...

VACUUM2023真空展/紙上プレビュー(2) (2023/10/26 機械・ロボット・航空機1)

【佐藤真空/真空乾燥・ベーキング装置】 佐藤真空(埼玉県三芳町)は、創業から91年にわたり、豊富なラインアップを持つ油回転ポンプをはじめとするコンポーネント...

VACUUM2023真空展/紙上プレビュー(1) (2023/10/25 機械・ロボット・航空機1)

【日立造船/反射防止・撥水 2機能一体成膜】 日立造船は反射防止膜・防汚膜一体型ロール・ツー・ロール(RtoR)成膜装置(...

溶射は溶融・軟化させた材料を吹き付けて成膜する技術。

半導体製造では成膜やエッチングなど全行程で約30種類のガスが使われる。

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