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日本ガイシ、電子部品関連を拡充−車依存構造から脱却へ（2016/3/23 電機・電子部品・情報・通信２）

主に知多事業所(愛知県半田市)で「静電チャック」などの部品を生産しているが、半導体メーカーの微細化投資などが続き、需要が伸びる。

「マイクロ構造による表面の柔軟性を持つ静電チャック」(齊藤滋規准教授)、「センサー付き導電性高分子型アクチュエーター」(山北昌毅准教授)などの発表がある。

東京工業大学大学院理工学研究科機械宇宙システム専攻の齋藤滋規准教授らは、静電気を用いてウエハーなどを吸着する部品「静電チャック」で、表面に凹凸がある箔(はく)材などにも対応可能なブラシ...

TOTOが増産するのは、エッチング装置の一部で「チャンバー」と呼ぶ真空容器の関連部材と、ウエハーを固定する静電チャックの二つ。チャンバー関連部材の生産能力は10月末までに12年度比3倍、静電チャックは...

R&Dアンケート（2014/7/25）

コンピューター・通信機器が7社中6社で、総合電機・重電が7社中0社と対照的。... 同窓社員を活用する「リクルーター制」は、総合電機・重電が7社中6社、コンピューター・通信機器が7社中5社なのに対し、...

東京ウエルズ、電子部品向け高速検査装置―未検査率0.1% （2013/1/23）

静電チャック式と呼ばれる方式を採用し、電子部品をガラス製のテーブル上に固定する。... 静電チャック式による部品の整列機構を利用した電子部品検査機は同社が初めて。2年前に開発した機種をベースに、静電チ...

産総研のR&D(19)常識覆した成膜法（2010/3/15）

また、成膜の緻密さ、高絶縁性、高耐食性などの特徴を利用し、静電チャックや半導体製造装置用の耐食プラズマ部材の製品化が始まっている。... 例えば静電チャックの製造では、サンプル吸着性能を20倍向上させ...

経営ひと言/筑波精工・柿崎尚志社長「満足せず次へ」（2008/9/26）

「厚さ数マイクロメートル(マイクロは100万分の1)の大型・薄物フィルムなどを吸着してハンドリングする液晶製造装置向け静電チャックの受注が伸びている」というのは筑波精工(栃木県...