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【厚木】ブイ・テクノロジーは液晶パネル用ガラス基板向け露光装置「イージス」で、配向膜露光に特化した機種を発売する。小さな露光用マスクを並べ、ガラス基板上を移動しながら露光する方式。... 同社では、今...

次世代半導体の加工技術とされる極端紫外線(EUV)露光用のレジストの開発を進める。「2011年にも登場する回路線幅32ナノメートル世代にはEUV露光が欠かせない」とにらむ。

今回の支援事例の中小企業は、大手光学ガラスメーカーをスピンアウトした光学の技術屋集団、ARKTECHで商品は紫外線(UV)―発光ダイオード(LED)使用の半導体ウエハー...

JSRは11日、2回露光して微細な回路を描く半導体製造工程用の新材料を開発したと発表した。線幅32ナノメートルに対応した材料で、1回目の露光で形成された回路を固めて、2回目の露光の溶剤に溶けないように...

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