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記事検索結果
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クリプトンガスの採用だ。当時の電球業界では「クリプトン球は明るいが、製造時に危険を伴う」といわれていた。しかし手作り歴の長い千葉らにしてみれば「クリプトンガスはアセチレンガスと同じように扱える簡単なも...
露光光源の短波長化は、チップ上の回路線幅がマイクロメートルからナノメートル単位に微細化するに連れて、波長436ナノメートルのg線から同365ナノメートルのi線、同248ナノメートルのフッ化クリプトン&...
露光光源は半導体回路の微細化が進むに連れて、波長436ナノメートルの可視光線「g線」から365ナノメートルの紫外線「i線」、さらに248ナノメートルの「フッ化クリプトン(KrF)エキシ...
同248ナノメートルのフッ化クリプトン(KrF)露光装置もスループットを向上した機種を投入する」 ―半導体の回路微細化に対応したArF露光装置の受注見通しは。